Gebraucht LAM RESEARCH 480LRC #9187407 zu verkaufen

Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
480LRC
ID: 9187407
Poly etcher Gases: SF6, C2F6, O2, He, and Ni.
LAM RESEARCH 480LRC ist ein Ätzer/Ascher für Halbleiter und andere Materialien. Es kombiniert Ätzen, Aschen und andere Prozesse, um Präzisionskomponenten mit sehr hoher Wiederholbarkeit und Genauigkeit zu schaffen. Das LAM 480LRC ist ein robuster, hoch robuster 8kW Source Power Etcher/Ascher, der sowohl hohe Ätzraten als auch hervorragende Gleichmäßigkeit über eine Reihe von Substratmaterialien liefert. Es verfügt über ein integriertes Kammerdesign, eine elektronische Steuerung und Berichterstattung, eine präzise Plasmaflussregelung und eine erweiterte Lastverriegelungsfähigkeit für einen erhöhten Durchsatz. LAM RESEARCH 480LRC ist ein vollautomatischer Ätzer/Ascher mit einer Einquellen-Stromversorgung und Substrat-Kippung. Es arbeitet, indem es sowohl Ionensputtern als auch Ionenätzprinzipien verwendet, um Material von der Oberfläche des Substrats zu entfernen. Die gekippte Einebenenätzung sorgt dafür, dass alle Substratoberflächen gleichmäßig geätzt werden, wodurch qualitativ hochwertige, gleichmäßige Teile mit überlegener Reproduzierbarkeit entstehen. Mit der Ätzrate des Ätzers von bis zu 8 kW können 480LRC schnell und präzise ätzen, wodurch sowohl komplexe Muster als auch das Ätzen bei sehr hoher Präzision entstehen. Darüber hinaus bietet das LAM LAM RESEARCH 480LRC eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, die es ideal für das Ätzen und Aschen von dicken und dünnen Substraten machen. Es kann auch zum Grabenätzen, Kantentrimmen und Ätzen mit hohem Seitenverhältnis verwendet werden. 480LRCs patentiertes Gasflusssteuerungssystem macht es ideal für die Herstellung von glatten Oberflächentopologien und Strukturen mit hohem Seitenverhältnis. Es ist auch in der Lage, sowohl im konformen als auch im selektiven Ätzmodus zu arbeiten und eignet sich für eine Vielzahl von Substratmaterialien. LAM RESEARCH 480LRC ätzt robust und zuverlässig unter verschiedenen Bedingungen und einer Vielzahl von Substraten. Es kann langfristige Ätzprojekte abwickeln und wiederholbare Ergebnisse mit hoher Genauigkeit liefern. Durch seine ausgeklügelten Steuerungs- und Überwachungssysteme ist es einfach zu bedienen und mit seinen sich ständig ändernden Parametern Schritt zu halten. Mit seiner Fähigkeit, präzise Muster mit hoher Präzision in einer einzigen geätzten Ebene zu ätzen, ist es ideal für die Bildung von Halbleiterbauelementen. Mit einem automatischen Power-Management-System und einer integrierten Load-Lock-Fähigkeit für mehr Durchsatz ist das LAM 480LRC eine zuverlässige und robuste Ätzlösung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor