Gebraucht LAM RESEARCH 490 / 590 #293817052 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 Ätzer/Ascher ist eine kompakte und vielseitige Plasmaätz- und Aschemaschine für den Einsatz in Forschung und Entwicklung oder Halbleiterproduktion. Es verfügt über ein Mehrkammerdesign, das die gleichzeitige Verarbeitung verschiedener Materialien wie Halbleiterscheiben, Substrate und Organik ermöglicht. Die 490 umfasst eine Reihe fortschrittlicher Ätz- und Ascheprozesse, die Hochfrequenzplasma verwenden, und eine chemisch unterstützte Technik, um eine hohe Ätzselektivität zu erreichen. Das Gerät wird von einem SPS-System gesteuert und verfügt über eine kleine Stellfläche, so dass es ideal für kleine bis mittlere Laboratorien. Die 490 ist eine Doppelkammereinheit mit einer Hauptreaktionskammer und einer darüber befindlichen Hilfskammer. Die Hauptkammer dient zum Ätzen und Aschen von bis zu zwölf 2 "-Wafern. Es beherbergt auch Proben wie Substrate und Organik mit einem Toploading Quarzboot. Die Maschine enthält auch einen Anzeigeanschluss und einen Plasmaspektroskopie-Port zur Überwachung von Ätzprozessen. LAM RESEARCH 490 wurde entwickelt, um hochpräzise Ätz- und Aschefunktionen mit minimaler Umweltbelastung im Vergleich zu anderen Reinigungssystemen anzubieten. Darüber hinaus kann die Prozessoptimierung mit Hilfe der umfangreichen Unterstützungssoftware des Tools effizient durchgeführt werden. Die Prozesssoftware ermöglicht das Einstellen der Prozessparameter und die Steuerung der Ätz- und Ascheprozesse. Seine erweiterte Diagnosefunktion macht es auch einfach, mögliche Probleme mit dem Asset zu identifizieren und sie schnell anzugehen. Das Modell ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie einer Überdruck-Alarmanlage, Temperaturreglern und einer Aktivgas- und Chemie-Überwachung. Darüber hinaus verfügt die 490 über ICED, ein in sich geschlossenes Diagnosesystem, das bei der Identifizierung und Diagnose von Prozessproblemen hilft und eine schnelle Lösung und Minimierung von Ausfallzeiten ermöglicht. Insgesamt ist LAM RESEARCH 490 ein idealer Ätzer/Ascher für Forschung und Entwicklung, Halbleiterproduktion und andere fortschrittliche Reinigungsanwendungen. Es bietet effiziente Ätz- und Ascheprozesse sowie umfangreiche Prozessoptimierungssoftware. Die fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale sorgen dafür, dass das Gerät sicher und mit minimaler Umweltbelastung arbeitet.