Gebraucht LAM RESEARCH 490 / 590 #9077769 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490/590 ist eine Ätz-/Ascherausrüstung, die sich ideal für eine Vielzahl von Substratmaterialien eignet. Entwickelt, um vielseitig zu sein, unterstützt es den Einsatz von reaktiven Ionenätzen und widersteht Aschetechniken. Dieses System umfasst eine vollständig computergesteuerte Ätzkammer, die eine präzise Steuerung und Wiederholbarkeit des Ätzvorgangs ermöglicht. Die Ätzkammer hat ein Kammervolumen von 40 Litern und ist in der Lage, Vakuumniveaus bis zu 1x10-5 Torr zu erreichen. Es beherbergt eine zweifrequente HF-Quelle Stromversorgung und eine keramische Turbo-Molekularpumpe. Die Kammer verfügt über einen Standard 12 "x12" Substratträger, der für bis zu 8 "Wafer konfiguriert werden kann. Es verfügt außerdem über ein Prozessüberwachungsfenster, das die Überwachung des Ätzprozesses in Echtzeit ermöglicht. Reaktives Ionenätzen (RIE) ist eine Schlüsselfähigkeit dieser Einheit, die das Ätzen von Substraten aus Materialien wie Silizium, Polyimiden, Polycarbosilanen und sogar Metalllegierungen ermöglicht. Es ermöglicht die Bildung komplexer Muster mit scharfen Kanten. Es ist auch in der Lage, sowohl positive als auch negative widersteht Asche zu leisten. Die Maschine verfügt auch über eine Auswahl von Gas Chemical Vapor Deposition (CVD) Fähigkeiten. Dazu gehören Pulsing Mode CVD, Dual Frequency CVD und Dual Power CVD, mit dem Materialien wie SiO2, SiN und Al2O3 auf dem Wafer abgelegt werden können. 490/590 Ätzer/Ascher-Werkzeug ist ein leistungsfähiges Ätzwerkzeug, das eine Vielzahl von Funktionen und Fähigkeiten zur Verarbeitung verschiedener Substrate bietet. Es verfügt über benutzerfreundliche Schnittstellen, flexible Konfigurationen und eine integrierte HF-Quelle zur präzisen Steuerung des Ätzprozesses. Es ist in der Lage, sicher und zuverlässig qualitativ hochwertige Ätzergebnisse zu erzielen und gleichzeitig Produktionszeiten und -kosten zu reduzieren.