Gebraucht LAM RESEARCH 490 / 590 #9119465 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490/590 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine für die Halbleitertechnologie. Es bietet innovative Lösungen für präzise Ätz-, Asche- und Glühprozesse. Es wurde entwickelt, um extrem präzise Gräben, Kontaktlöcher, Mikroviasand-Durchgangslöcher zu ätzen und zu glühen. Es unterstützt auch fortschrittliche Graben, Kupfer und dielektrische Ätzprozesse. 490/590 Modelle verwenden die GEMINI® Prozesssteuerung, eine modernste Technologie, die speziell für dieses fortschrittliche Ätz-/Aschersystem entwickelt wurde. GEMINI® ist ein integriertes Softwarepaket, das überlegene Prozessfunktionalität und berechenbare Ergebnisse erzielt. Es hilft, die Leistung der Einheit zu optimieren, um sicherzustellen, dass jeder Ätz- oder Anneal-Job nach Spezifikationen abgeschlossen wird. LAM RESEARCH 490/590 ist als kostengünstiger, kostengünstiger Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung konzipiert. Es kann bis zu 5 "-Wafer sicher handhaben und mit seiner automatisierten Ladesequenz kann es das Wafer-Handling minimieren und den Prozessdurchsatz maximieren. Es wird mit fortschrittlicher Reinraumtechnologie hergestellt, mit hocheffizienten Stickstoff- und kometengasdiffusionssystemen, die Kontaminationen verhindern und eine saubere Prozessumgebung bieten. 490/590 verwendet fortschrittliche Ätztechnologie mit einer breiten Palette von auswählbaren Prozesseinstellungen, um überlegene Ergebnisse zu liefern. Gasfluss, Druck, Vorspannung und Temperatur sind einstellbar und überwacht. Diese Einstellungen ermöglichen die Optimierung jedes Ätzprozesses und bieten die besten Ergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen. LAM RESEARCH 490/590 bietet dem Endanwender Flexibilität und kann in verschiedenen Modi betrieben werden. Der „Standard-Modus“ eignet sich am besten, wenn mehrere ähnlich große und geformte Ätzungen erzeugt werden, während der „Step-Modus“ ideal für präzisere Ätzaufträge ist. Darüber hinaus unterstützt 490/590 fortschrittliche Sicherheitsfunktionen wie Gasabschaltsensoren, Energiemanagementsysteme und automatisierte Türschließsysteme. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein hocheffizientes Abgaswerkzeug, das verhindert, dass Prozesspartikel in die kontrollierte Umgebung gelangen. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH 490/590 ein hochentwickeltes Etcher/Asher-Asset. Es verwendet GEMINI® Prozesssteuerung, ein ausgeklügeltes Softwarepaket und unterstützt bis zu 5 "Wafer. Es ist in der Lage, extrem präzise Gräben, Kontaktlöcher, Mikrovias und Durchgangslöcher mit hervorragenden Ergebnissen zu ätzen und zu glühen. Darüber hinaus bietet es eine breite Palette von Prozesseinstellungen und unterstützt erweiterte Sicherheitsfunktionen. Insgesamt ist 490/590 eine ausgezeichnete Wahl für Halbleiterätz- und Glühanwendungen.