Gebraucht LAM RESEARCH 490 / 590 #9145832 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490/590 Ätzer/Ascher sind Vakuumkammern für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Sie sind mit Hochleistungs-Elektronenstrahlkanonen ausgestattet, die in der Lage sind, Submikron-Muster in einer Vielzahl von Photoresist-Materialien zu erzeugen. Die Systeme sind in der Lage, Muster in Wafer mit Geschwindigkeiten von bis zu 500 mm pro Sekunde zu ätzen und können Mustergrößen von 0,01 bis 3,0 Mikrometer in der Funktionsgröße erzeugen. Die Serie 490/590 bietet auch erweiterte Plasmaätzfähigkeiten mit fortschrittlichen Planarisierungs- und Musterprozessen. Die Kammern sind hoch konfigurierbar, mit einer Reihe von Optionen zur Optimierung des Ätzprozesses auf spezifische Geräteanforderungen. Die Plasmaquelle kann zur Steuerung des Ionenflusses und der Ionenenergie für Ätzformen mit besserer Kantendefinition und Selektivität eingestellt werden. Die Kammer hat eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, um den Benutzer zu schützen und zu vermeiden, dass die Wafer schädigenden Bedingungen ausgesetzt sind. LAM RESEARCH 490/590 verfügt über eine robuste Konturierausrüstung, um Tiefe und Profil der Ätzfunktionen genau zu steuern und Waferschäden während der Verarbeitung zu reduzieren. Das System kann optisch eingestellt werden, um ein gleichmäßiges Ätzen über den gesamten Wafer bereitzustellen. Die Vakuumkammer kann so ausgebildet sein, dass mehrere Schichten gleichzeitig geätzt werden können, was schnellere Durchlaufzeiten ermöglicht. 490/590 ist mit einer Vielzahl von Nassverarbeitungssystemen kompatibel und kann mit anderen Systemen in der Fertigungsreihenfolge synchronisiert werden. Das Gerät ist mit einer fortschrittlichen Automatisierungsmaschine ausgestattet, um eine einfache Integration in Produktionslinien zu ermöglichen. Die Systeme sind auf die strengsten Sauberkeitsstandards ausgelegt, um sicherzustellen, dass die Wafer während des gesamten Herstellungsprozesses fehlerfrei bleiben. LAM RESEARCH 490/590 Serie ist auch kompatibel mit einer breiten Palette von Vorläufern und anderen Materialien für Post-Etch-Prozesse. 490/590 ist die ideale Lösung für Präzisionsätzanwendungen in einer Vielzahl von Branchen, einschließlich Halbleiter-, Medizinprodukte- und MEMS-Geräteherstellung. Der Ätzer/Ascher ist für Geschwindigkeit und Genauigkeit gebaut, und seine robuste Konstruktion sorgt dafür, dass er über Jahre hinweg konstante Ergebnisse liefert.