Gebraucht LAM RESEARCH 490 #199861 zu verkaufen

Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
490
ID: 199861
Auto etch system.
LAM RESEARCH 490 ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses Gerät verfügt über eine energiesparende, induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) mit einem spezialisierten Gasfördersystem, das Prozessgeometrien bis zu 0,25 Mikrometer ermöglicht. 490 ist für hochpräzises Ätzen mit hohem Prozessdurchsatz und Ausbeute ausgelegt. Der Ätzprozess des LAM RESEARCH 490 unit wird durch einen Parallelplatten- oder Rotationsquellen-ICP durchgeführt, der eine präzise Steuerung der Prozessgrößen ermöglicht. Die Quellleistung ist für unterschiedliche Materialien einstellbar. Die Gasfördermaschine auf 490 besteht aus bis zu fünf Gasleitungen, die eine Steuerung des im Plasmaprozess verwendeten Gasgemisches ermöglichen. Das Gasgemisch wird genau überwacht, um einen optimalen Ätzprozess zu gewährleisten. Die drehbare Quellenkonfiguration auf LAM RESEARCH 490 verfügt auch über einen Drehverschluss, der verwendet wird, um die Menge an Ionenbeschuss beim Ätzen empfindlicher Strukturen, wie verspanntem Silizium, zu verringern. Darüber hinaus kann 490-Werkzeug eine Vielzahl von Chemie-Mischungen verwenden, die Flexibilität im Ätzprozess bieten. Dies kann helfen, Lebensdauer und Kostenkontrolle zu optimieren und gleichzeitig zuverlässige Leistung zu bieten. LAM RESEARCH 490 Asset verfügt auch über fortschrittliche Software, so dass der Benutzer Prozessrezepte konfigurieren, um die spezifischen Anforderungen des Geräts zu erfüllen. Darüber hinaus bietet 490 Modell ausgezeichnete Wiederholbarkeit, mit einer Speicherkapazität von bis zu 1.000 Rezepte. Seine präzise Klemmvorrichtung sorgt dafür, dass sich Wafer während der Verarbeitung nicht verziehen, und sein programmierbarer Gasverteilerkasten (PDB) verbessert die Gleichmäßigkeit des Ätzprozesses. Darüber hinaus beseitigt das automatisierte Endpunkterkennungssystem von LAM RESEARCH 490 Rätselraten und liefert jedes Mal ein genaues Ergebnis. 490 Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche Einheit, die für schnelles, konsistentes und genaues Ätzen und Veraschen von Halbleiterbauelementen zur Herstellung modernster Technologie entwickelt wurde. Seine hohe Kapazität, Präzision und Wiederholbarkeit unterscheiden sich von anderen Systemen und schaffen eine zuverlässige Lösung für die Chipherstellung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor