Gebraucht LAM RESEARCH 490 #293604249 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 ist ein Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) -equipped Asher/Etcher entwickelt für höheren Durchsatz, Flexibilität und Zuverlässigkeit. Dieses robuste in einer Prozession gehende Werkzeug zeigt eine 267-Mm-X267Mmoblatengröße, 1,6 Mbar-Grunddruck, und einen 7-Kilowatt-Lastschloss-Höchstlastraum des Schlosses/Prozesses / Hohen Höchstlastraum des Schlosses/Prozesses. Das thermische Hochgeschwindigkeitsverfahren ist für den Betrieb zwischen 30 ° C und 250 ° C mit bis zu 13 programmierbaren Rezepturen und Prozessparametern mit 4 Abscheideköpfen und 5 Ätzkammern ausgelegt. 490 wird mit fortschrittlicher Technologie gebaut, um konsistente, wiederholbare Verarbeitungsergebnisse zu gewährleisten. Seine automatische Neigung minimiert die Verlegung von Wafern in der Kammer während des thermischen Zyklus, und sein überarbeitetes Wafer-Handling-System erleichtert das Abrufen von Wafern für Bediener. Der Etch/Asher bietet auch eine Mehrfrequenz-HF-Substrat-Stromversorgung für Sputter/Etch-Deposition und Ätzanwendungen sowie eine fortschrittliche harmonische Impedanz-Source-Matching-Technologie für eine bessere Verarbeitungssteuerung. LAM RESEARCH 490 verfügt auch über flexible Konstruktionsmöglichkeiten, mit denen Kunden ihr Prozessrezept für bestimmte Substrattypen, Anwendungen, Qualitätsspezifikationen und Ablagerungsanforderungen anpassen können. Eine integrierte Heizung und integrierte Kühlöffnungen sorgen für eine gleichmäßige Heizung bzw. Kühlung für eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit. 490 bietet auch fortschrittliches Revolvermanagement, um den Betrieb zu vereinfachen, wie Multi-Revolver und Macrobatch-Funktionen sowie erweiterte Systemüberwachungs- und Diagnosefunktionen. Darüber hinaus nutzt dieser mit PECVD ausgestattete Ascher/Ätzer eine fortschrittliche webbasierte Benutzeroberfläche, um Benutzerinteraktion, Einrichtungs- und Konfigurationszeit zu reduzieren. Es verfügt über ein intuitives Display, das die Programmierung vereinfacht und die Komplexität der manuellen Bedienung reduziert. Das Design trägt auch zu verbesserter Systemstabilität und minimierten Ausfallzeiten bei. Insgesamt ist LAM RESEARCH 490 ein effizientes und robustes PECVD-ausgerüstetes Ascher/Ätzer-Tool, das entwickelt wurde, um eine überlegene Verarbeitung mit vorhersehbaren und wiederholbaren Ergebnissen zu liefern. Seine fortschrittlichen technologischen Funktionen ermöglichen es Kunden, den höchsten Durchsatz, Flexibilität und Zuverlässigkeit zu erreichen.