Gebraucht LAM RESEARCH 490 #293747959 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 ist eine thermische Ätzausrüstung, die entwickelt wurde, um die höchste Qualität des Ätzmusters und die beste Ätzprozesskontrolle in der Branche zu bieten. 490 verwendet die reaktive Ionenätztechnologie (RIE), die eine Substratoberfläche mit einem kollimierten, dicht gesteuerten Plasma aus reaktivem Gas kombiniert, um zielgerichtetes Material aus der Beschichtung zu entfernen. LAM RESEARCH 490 integriert zahlreiche Schlüsseltechnologien sowie eine Reihe benutzerfreundlicher Softwarefunktionen, um ein äußerst zuverlässiges System mit punktgenauer Genauigkeit, wiederholbarer Leistung und unschlagbarer Geschwindigkeit zu liefern. 490 verfügt über die patentierte PitchScanTM-automatische Reinigungsfunktion von LAM, wodurch keine manuelle Partikelreinigung erforderlich ist. PitchScan kann Partikel bis zu 4 µm erkennen und entfernen, wodurch die Kontamination auf der Substratoberfläche stark reduziert wird. Dieses Gerät verwendet auch die neueste Technologie namens Image Enhancement, um die Schärfe, Auflösung und Funktionsdefinition von geätzten Mustern zu erhöhen. Darüber hinaus hat das fortschrittliche, voll ausgestattete Optikpaket von LAM RESEARCH 490 die Fähigkeit, Puls, Energie und Strahlbreite zu variieren. 490 nimmt Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 8 "unter Beibehaltung der gleichen Abstand-zu-Probe-Fokus-Genauigkeit an. LAM RESEARCH 490 bietet dank seiner fortschrittlichen Temperaturregelmaschine hervorragende Werkzeug-zu-Werkzeug-Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit in Ätzmustern. Um einen hohen Durchsatz zu gewährleisten, kommen 490 mit mehreren Rezept-Setups, die in der Lage sind, verschiedene Ätzprozesse durchzuführen. LAM RESEARCH 490 kommt auch mit einem Twister und Verschlusswerkzeug ausgestattet, um Zell-zu-Zelle-Variationen zu minimieren. Um die Kontrolle über den Ätzprozess weiter zu verbessern, verfügt 490 über eine erweiterte Gasselbstabstimmungsfunktion. Diese selbstabstimmende Funktion ist in der Lage, automatisch die optimalen Einstellungen für jedes Rezept zu erkennen, um die höchste Qualität Ätzmuster zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet die intuitive Benutzeroberfläche von LAM RESEARCH 490 dem Anwender ein Echtzeit-Feedback zu den Ergebnissen des Ätzprozesses. Insgesamt kombiniert 490 eine Reihe von Schlüsseltechnologien und Softwarefunktionen, um ein ausgeklügeltes Tool zu liefern, das den höchsten Standards in Bezug auf Ätzleistung und Prozesskontrolle entspricht.