Gebraucht LAM RESEARCH 490 #293771117 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490, auch als Ätzascher bekannt, ist eine Ausrüstung zum Plasmaätzen und Passivieren von Halbleitermaterialien. Es kann verwendet werden, um kundenspezifische, komplizierte Eigenschaften in einer breiten Palette von Substraten zu produzieren und gleichzeitig ein sehr hohes Maß an Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle zu erreichen. 490 verwendet Plasmatechnologie, um dünne Materialschichten auf dem Substrat zu ätzen und abzuscheiden, wodurch ein deutliches Ätzmuster entsteht. Das System kann für verschiedene Materialien wie Silizium, Galliumarsenid und Aluminiumoxid verwendet werden. Die Einheit umfasst eine Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Plasmaquelle, eine Hochfrequenz- (RF) -Stromversorgung und einen Kühler zur Regelung der Reaktionskammertemperatur. Die ECR-Plasmaquelle ermöglicht ein sehr gleichmäßiges Plasma, das eine gleichmäßige Ätztiefe über alle Bereiche des Substrats gewährleistet, während die HF-Stromversorgung die notwendige Energie liefert, um den Prozess zu initiieren und die Plasmaparameter zu regulieren, um die korrekte Ätzgeschwindigkeit zu gewährleisten. Die Temperaturregelung hilft weiter, gleichmäßige Ergebnisse zu gewährleisten. LAM RESEARCH 490 bietet mehrere Funktionen, die es ermöglichen, eine Vielzahl von Ätzaufgaben genau und mit hoher Präzision auszuführen. Beispielsweise ist die Maschine mit einer automatischen Tuning-Funktion ausgestattet, die eine einfache Optimierung und Steuerung der Prozessparameter auf die Art des zu bearbeitenden Substrats ermöglicht. Darüber hinaus umfasst das Tool einen Sensor zur Überwachung und Regelung kritischer Größen wie Druck, Temperatur und elektrische Felder. Diese Feedback-Schleife trägt dazu bei, dass der Prozess mit optimaler Effizienz abläuft. Das Modell umfasst auch eine Vielzahl von austauschbaren Komponenten und Zubehör, so dass die Verwendung mit einer breiten Palette von Materialien und Anwendungen. Dazu gehören eine Wafer-Lift-Ausrüstung, ein Endeffektor, ein thermisches Spannfutter und benutzerprogrammierbare Ätzraten. Darüber hinaus können 490 auch mit einem Autosampler ausgestattet werden, so dass mehrere Wafer nacheinander bearbeitet werden können. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH 490 ein Ätzsystem, das entwickelt wurde, um kundenspezifische, komplizierte Funktionen auf einer Vielzahl von Substraten bereitzustellen. Es ist mit einer ECR-Plasmaquelle, einem HF-Netzteil, einer automatischen Tuningfunktion, einer Sensoreinheit, einer Waferliftmaschine, einem Endeffektor, einem thermischen Spannfutter und benutzerprogrammierbaren Ätzraten ausgestattet, um Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle zu gewährleisten. Zusätzlich ermöglicht ein Autosampler dem Werkzeug, mehrere Wafer nacheinander zu bearbeiten.