Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9089389 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 ist eine Nassätz- und Aschevorrichtung, die für den Einsatz in industriellen Fertigungsprozessen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen zu bedienen und ist mit einer Reihe von Materialien kompatibel. Unter Verwendung einer Kombination von Lösungsmitteln und Katalysatoren können 490 Materialien wie Silizium, Glas, Metalle, Kunststoffe und Keramik mit hoher Präzision ätzen oder aschen. Es bietet fortschrittliche Ätz- und Ascheprozesse einschließlich tiefer reaktiver Ionenätzung (DRIE), ein Verfahren, das ein oder mehrere reaktive Gasplasmen verwendet, um ein Ätzprofil mit einem hohen Seitenverhältnis und anisotropen Ätzmustern zu erstellen. LAM RESEARCH 490 hat eine maximale Betriebstemperatur von 800 ° F (427 ° C) und einen maximalen Druck von 40 ° PSI, wodurch es für eine breite Palette von harten Materialien geeignet ist. Es umfasst eine in sich geschlossene Substratheizung, die eine chargenweise Verarbeitung von bis zu sechs Substraten auf einmal bietet und eine schnelle Reaktion, niedrige Hintergrundumgebung aufweist. Ein eingebautes Kupferchlorid-Bad behält die richtige Ätzchemie bei, wodurch die Gefahr einer Kontamination der Umgebung verringert wird. Die Ätzkammer von 490 ist aus Edelstahl gefertigt und verfügt über einen großen Sichtbereich, der das Be- und Entladen von Substraten sowie die Überwachung von Operationen während des Ätz- und Aschevorgangs ermöglicht. Dieser Darstellungsbereich ermöglicht es den Betreibern auch, den Grad des Ätzens oder Aschens vollständig mit ausgezeichneter Klarheit zu bestimmen. Darüber hinaus umfasst das System einen mehrstufigen Prozessregler und eine vielseitige Endpunktüberwachungseinheit, die optimierte Ätz- und Ascheergebnisse gewährleistet. Die computergesteuerte Maschine von LAM RESEARCH 490 ermöglicht eine präzise Steuerung von Ätz- und Aschezyklen, die auf ein bestimmtes Material und eine bestimmte Anwendung zugeschnitten sind. Die Benutzeroberfläche des Tools ist einfach zu bedienen und bietet eine Vielzahl von erweiterten Funktionen für einen effizienten Betrieb des Elements. Darüber hinaus enthält das Modell eine große Bibliothek mit Betriebsparametern und Rezepten, wodurch Experimente einfach eingerichtet und durchgeführt werden können. Mit seiner hohen Prozessausbeute, Präzision und Wiederholbarkeit ist 490 eine ideale Ausrüstung für Ätz- und Ascheanwendungen im industriellen Bereich.