Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9112923 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 ist ein Ätzer/Ascher zur Verarbeitung von Dünnschichtleitmaterialien. Es ist ein chemisches Bedampfungswerkzeug, das eine Vielzahl von chemischen Verbindungen verwendet, um zu verdampfen und einen dünnen Film aus einem gewünschten Material zu bilden. 490 ist in der Lage, dünne Folien mit Dicken bis auf Nanometer-Niveau und mit einer Gleichmäßigkeit der Zusammensetzung zu produzieren. Das Werkzeug bietet einen hohen Durchsatz und eine einfache Bedienung, die sicherstellt, dass dünne Filme schnell und präzise hergestellt werden können. LAM RESEARCH 490 ist mit einer Standard-Vakuumkammer ausgestattet, die bis zu vier Wafer mit Durchmessern von 2 bis 8 Zoll aufnehmen kann. Das Werkzeug kann auch bis zu vier Substrate unterschiedlicher Größe verarbeiten. Die Vakuumkammer wird durch eine Luftzirkulationseinrichtung gekühlt und durch zwei unabhängige Kammerheizungen beheizt. Dadurch wird eine gleichmäßige und gleichmäßige Temperatur über den gesamten Wafer während des Prozesses gewährleistet. 490 ist in der Lage, beim Ätzen oder Aschen hohe Drücke bis zu 10 Torr zu erzeugen und kann so programmiert werden, dass präzise reproduzierbare Ergebnisse erzielt werden. LAM RESEARCH 490 ist mit einer Quarzverdampfungsquelle ausgestattet, die Temperaturen bis 2800 ° C erreichen kann. Dadurch können verschiedenste Materialien abgeschieden werden, darunter negativer und positiver Photolack und Metalle wie Gold, Kupfer und Aluminium. Die Quelle kann auch zur Vorbehandlung von Wafern vor der Verarbeitung verwendet werden, um eine erhöhte Haftung dünner Filme zu gewährleisten. 490 ist auch mit einem Frequenzabtastsystem ausgestattet, das verwendet wird, um Asche-/Ätzgleichförmigkeit über größere Substratbereiche zu gewährleisten. Mit dieser Einheit kann ein Benutzer die Frequenz auswählen, bei der der Prozess angewendet werden soll, wodurch eine schnelle und genaue Herstellung des gewünschten Materials ermöglicht wird. LAM RESEARCH 490 ist auch mit einer Fernüberwachungsmaschine ausgestattet, die Echtzeitdaten über das Werkzeug und seine Prozesse liefern kann. Dadurch können sofortige Anpassungen vorgenommen werden, um die Werkzeugleistung zu verbessern und sicherzustellen, dass Produkte von bester Qualität hergestellt werden. Zusätzlich ist das Werkzeug mit einem mehrfachen Wafer-Überwachungswerkzeug ausgebildet, das die Chemie und Temperatur jedes Wafers während des Ätz-/Aschvorgangs verfolgt. 490 ist ein robustes und zuverlässiges Gut, das ideal für die Herstellung und Überprüfung von Dünnschicht-leitfähigen Materialien ist. Dieses Modell bietet eine optimale Kombination aus Gleichmäßigkeit und Genauigkeit auf kostengünstige Weise.