Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9145865 zu verkaufen

Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
490
ID: 9145865
Wafergröße: 6"
Etcher, 6".
LAM RESEARCH 490 ist ein fortschrittlicher Trockenätzer/Ascher, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird, um hochgenaue und komplizierte Funktionen auf einer breiten Palette von Bauelementarchitekturen zu produzieren. Diese Ausrüstung ist in der Lage, in Materialien wie Metall, Silizium und Polyimid mit einer Vielzahl von Chemikalien zu ätzen. Es enthält eine einzigartige Festkörper-Plasmaquelle, die eine überlegene Ätzsteuerung und hohe Prozesswiederholbarkeit bietet. Das System ist für eine optimale Leistung in der Fertigungsbearbeitung von Wafern bis 200 mm Durchmesser ausgelegt. Es ist kompakt, hat eine lange Erfolgsbilanz bei minimaler Wartung und erfordert minimale Bedieneraufmerksamkeit. Diese Einheit wird verwendet, um Geräte mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit durch fortschrittliche Trockenätzverarbeitung zu produzieren. 490 Features Descum, eine einzigartige Plasmaquellen-Technologie. Die Descum-Technologie reduziert das Risiko einer Kontamination von Halbleiterscheiben, indem sie die Selektivität verbessert und die Qualität des Ätzes erhöht, indem sie Mikrokontaminationen eliminiert. Diese Technologie ist ideal für das Ätzen in einer Reinraumumumgebung, da sie flüchtige organische Verbindungen eliminiert, was zu einem sauberen, umweltfreundlichen Ätzprozess führt. Die Maschine bietet kundenspezifische Rezeptprogrammierung und -steuerung, bestehend aus voreingestellten benutzerdefinierten Schritten, um einen schnellen, zuverlässigen und wiederholbaren Prozess zu gewährleisten. Erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen ermöglichen dem Benutzer die Schnittstelle zu zahlreichen Geräten vom Fabrikboden aus. Dieses Tool bietet auch anspruchsvolle ACM-Fähigkeiten (adaptive Contact Measurement) und bietet eine komplette Prozesssteuerungslösung mit automatischer Kompensation von Temperatur, Druck und Probenvariabilität. LAM RESEARCH 490 ist ein sehr zuverlässiges und genaues Gut. Es ist so konzipiert, dass es mit einer breiten Palette von Materialien und Chemikalien kompatibel ist und eine kostengünstige Alternative zum Nassätzen bietet. Insgesamt ist dieses Modell eine ausgezeichnete Wahl für Halbleiterherstellung und Anwendungen auf Bauelementebene für die Herstellung komplizierter Designs auf Materialien aller Art.
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