Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9226106 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
490
ID: 9226106
Wafergröße: 6"
Nitride etcher systems, 6".
LAM RESEARCH 490 Ascher/Ätzer ist eine fortschrittliche, leistungsstarke fortgeschrittene Ätz-/Ascheausrüstung, die entwickelt wurde, um saubere, wiederholbare Ergebnisse in einer Vielzahl von Ätzprozessen zu liefern. 490 kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Substratmaterialien wie Scheiben, Metalle, Polymere und Gläser zu ätzen. Es verfügt über einen Standard-Betriebstemperaturbereich von 100-420 ° C, 4 programmierbare wiederholbare Prozesse und einen eingebauten Temperaturregler. LAM RESEARCH 490 kann verwendet werden, um verschiedene Materialien mit verschiedenen Techniken zu ätzen, so dass es ideal für eine breite Palette von Ätzprozessen. Das System nutzt die schnelle thermische Glühung (RTA) - ein Verfahren zum schnellen Erwärmen und Kühlen von Substraten, um schnell und gleichmäßig eine bestimmte Tiefe zu ätzen. Es ist kompatibel mit einer Vielzahl von Gasen, einschließlich Halogen und Fluorkohlenstoffmischungen - so dass genaue und wiederholbare Prozesse. 490 verfügt über ein Gaskastenmodul und eine Vakuumpumpeneinheit, die zusammenarbeiten, um präzise Ätzergebnisse zu liefern. Das Gaskastenmodul beherbergt alle Komponenten, die benötigt werden, um eine kontrollierte Atmosphäre zu schaffen, wie Düse, Durchflussmesser und Druckregler, während das Vakuumpumpenmodul eine konstante und stabile Ätzumgebung beibehält. LAM RESEARCH 490 ist auch mit fortschrittlicher Steuerungstechnologie ausgestattet, wie Bildschirm, Tastatur und Steuermodul - und bietet den Betreibern die vollständige Kontrolle über den Ätzprozess. 490 ist vollautomatisiert und kann so programmiert werden, dass mehrere Substrate gleichzeitig geätzt werden, mit einer typischen Zykluszeit von weniger als fünf Minuten. Die langlebigen Kondensatoren und das effiziente thermische Design der Maschine sorgen für einheitliche und wiederholbare Ergebnisse. Es verfügt auch über ein einzigartiges Kühlwerkzeug, das Ausfallzeiten und Kapitalkosten minimiert. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH 490 ein Hochleistungs-Ätz-/Veraschungs-Asset, das saubere und wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Ätzprozessen liefert. Es ist mit fortschrittlichen Temperaturreglern, einem Gaskasten und einem Vakuumpumpenmodul sowie einem ausgeklügelten Steuermodell ausgestattet, mit dem der Benutzer den gesamten Prozess präzise steuern kann. Es ist eine effiziente, zuverlässige und kostengünstige Ausrüstung, mit der eine Vielzahl von Substratmaterialien mit einer typischen Zykluszeit von weniger als fünf Minuten geätzt werden können.
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