Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9226287 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
490
ID: 9226287
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1987
Etcher, 6" 1987 vintage.
LAM RESEARCH 490 (auch als Ätzer/Ascher bekannt) ist ein hochentwickeltes und präzises Gerät zum Ätzen oder „Loswerden“ von Material im Halbleiterprozess. Es wird in den Ätzkammern von Halbleiterherstellungsmaschinen verwendet. Dieses Gerät ist mit einer Nass-Ätzalicarbonat-Ätzchemie ausgestattet, die arbeitet, um die aktive Materialschicht bei sehr hohen Temperaturen von der Halbleiteroberfläche zu ätzen und zu entfernen. 490 ist entworfen, um speziell entworfene Merkmale in die Halbleiterscheiben zu ätzen, die die meisten Halbleiterchips bilden. Es setzt auf seine Vielzahl von Merkmalen, um diese Merkmale in den genauen notwendigen Breiten, Tiefen und Winkeln zu ätzen. Das System verfügt über die LAM-Technologie (Least Action Mode), eine leistungsstarke und präzise Computersteuerung, die eine optimale Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine rotierende Kathodenabschirmung und eine automatisierte Kammerreinigung, spezielle Gasstromregler und Turbinenpumpensysteme sowie eine temperaturgeregelte Umgebung. Diese Kombination von Merkmalen ermöglicht eine präzise Ätzung der Halbleiterstrukturen und eine allgemeine Gleichmäßigkeit über verschiedene Chargen hinweg. Um die Genauigkeit und Präzision des Ätzprozesses zu gewährleisten, ist LAM RESEARCH 490 mit einem präzisen seitlichen Steuerwerkzeug ausgestattet, das das Ätzen in bis zu neun (9) verschiedenen Positionen des Wafers mit Nanometergenauigkeit ermöglicht. Es hat eine hohe Ätzrate, eine präzise Prozesssteuerung und ist in der Lage, große Mengen an Wafern mit bis zu 25 Wafern pro Minute zu handhaben. Das Asset verfügt auch über einen In-situ-Monitor, mit dem Benutzer Prozessdaten in Echtzeit erhalten können. Das Modell ist einfach zu bedienen und bedienen, und leicht verständliche Bedienungsanleitungen sind für Benutzer verfügbar. 490 bietet eine zuverlässige und präzise Ätzmaschine zur Herstellung von Bauelementen in der Halbleiterindustrie.
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