Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9226288 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es bietet die Technologie zum Ätzen und Ascher Schichten, die Teil der integrierten Schaltungsherstellung sind. Diese Maschine ist entworfen, um mit nasser und trockener Prozeßchemie zu arbeiten und kann verschiedene Arten von Substraten behandeln. Es ist ein vollautomatischer, schneller und hochgenauer Ätz-/Ascher für kritische Halbleiterbauelemente. 490 kann bis zu fünf Prozesskammern gleichzeitig betreiben. Alle Prozesskammern verfügen über ein integriertes PFPE-Reduzierungssystem, das die Emissionen von Gefahrstoffen reduziert. Es enthält auch ein Auto-Alignment-System für robuste Wafer zu Wafer Konsistenz. Jede Kammer zeichnet sich durch hervorragende Ätzgleichmäßigkeit und Ätzratengleichförmigkeit aus. Es enthält eine bewährte induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) für stabiles, hochgleichmäßiges Ätzen und Aschen unter einer Vielzahl von Bedingungen. LAM RESEARCH 490 bietet flexible Rezeptoptionen. Es kann eine maximale Temperatur von 700 ° C und mehrere Gasströme erreichen, die individuell auf das Prozessrezept abgestimmt werden können. Die Ätzrate wird durch den Massendurchflussregler (MFC) eingestellt, um die Oberflächengüte des Substrats zu verfeinern. Für das Aschen können UV-Plasma-basierte Aschetechnologien verwendet werden, um die gewünschte Oberflächengüte zu schaffen. 490 bietet fortschrittliche Diagnosen wie automatische Mustererkennung und Fehlererkennung. Es bietet auch vorgeätzte oder als geätzte Oberflächenrauhigkeitskontrolle und mehrschichtige Ätzanwendungen. Das Ätzverfahren beinhaltet auch eine Abscheidungssteuerung für die Gleichmäßigkeit, die zur Verringerung der Substratverlustraten beiträgt. LAM RESEARCH 490 bietet auch einzelne Iterationsprozesse für verbesserte Prozesseffizienz und Ausbeute. Insgesamt ist 490 ein extrem vielseitiger und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der konsistente Ergebnisse für die fortschrittliche Herstellung von Halbleiterbauelementen liefert. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und leistungsstarken Funktionen ist es der perfekte Ätzer/Ascher für die Anforderungen der komplexesten Anwendungen.