Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9232674 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 ist eine Etcher/Asher-Ausrüstung zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben. Diese Maschine ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien auf Wafern bis zu einem Durchmesser von 304,8 mm (12 ") effizient zu ätzen und zu aschen. Es verwendet eine 1350 mm (53,15 ") Plenumkammer, die für die doppelseitige Waferbearbeitung ausgelegt ist; die Wafer können mit Standard-Cluster-Werkzeugen beladen werden, so dass ein einzelnes Gerät gleichzeitig beide Seiten des Wafers bearbeiten kann. Das System ist sehr modular und bietet Flexibilität auf Komponentenebene, um die Anpassung an spezifische Anforderungen zu ermöglichen. 490 verfügt über ein großes Kammervolumen mit Hochleistungsplasma, um sowohl Ätz- als auch Ascheanwendungen über eine Vielzahl von Betriebsparametern zu bewältigen. LAM RESEARCH 490 verwendet eine robuste, einteilige passivierte Edelstahl-Kammer, die die Plasma-induzierte Partikelerzeugung minimiert und eine gleichmäßige Temperatur gewährleistet. Das Gerät wird in einer sauberen Umgebung betrieben und ist für eine direkte Seitenarmbelastung für hohe Reinheit und minimale Verschmutzung geeignet. Um gleichbleibend wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten, werden die Ätz- und Ascheprozesse durch einen fortschrittlichen Plasmakontroller gesteuert. Der intuitive OS-basierte Controller bietet eine grafische Darstellung der Prozessbedingungen, um eine konsistente Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Die Maschine verfügt zudem über eine schnelle und gleichmäßige HF-Leistungsverteilung, um eine optimale Ätz- und Ascheleistung zu gewährleisten. 490 ist in der Lage, jede Art von Material zu ätzen und zu aschen. Es ist mit einer Reihe von verschiedenen Gasen, wie Chlor, Argon, Wasserstoff und andere entworfen, um verschiedenen Materialanforderungen gerecht zu werden. Es hat auch die Fähigkeit, mehrstufige Ätzprozesse zum präzisen Ätzen komplexer Strukturen durchzuführen. Das Backvermögen dieses Werkzeugs ist ebenfalls beeindruckend, da es bei kontinuierlicher Temperaturregelung bis zu 450 ° C (842 ° F) backen kann. Um den Prozess abzuschließen, hilft eine dynamische Endpunkterkennung, Prozessergebnisse zu überprüfen, um sicherzustellen, dass der richtige Endpunkt erreicht wurde. Insgesamt ist LAM RESEARCH 490 ein effektives Ätz-/Aschermodell, das für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Mit seinen anspruchsvollen Kammer- und computergesteuerten Werkzeugen können 490 konstante, wiederholbare Ergebnisse bei minimaler Verschmutzung liefern. Die Hochleistungs-HF-Energieverteilung, Temperaturgleichmäßigkeit und Mehrfachgasfähigkeit bieten die Flexibilität, die Ätz-/Ascheprozesse an alle spezifischen Anforderungen anzupassen.