Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9242239 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
LAM RESEARCH 490 ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das Werkzeug wurde speziell entwickelt, um den Prozess der Halbleiterbauelementbearbeitung zu verbessern, was ein effizienteres und genaueres Ätzen und Aschen von Substraten ermöglicht. 490 verwendet unterschiedliche Druck- und Temperaturbedingungen, die spezifische Ätz-/Ascheprozesse ermöglichen. Das Werkzeug ist mit mehreren Rezepten auf demselben Substrat ausgestattet, um einen verbesserten Ertrag zu erzielen. Das Verfahren ermöglicht ein gezieltes Ätzen und Aschen in definierten Prozessbereichen und ermöglicht so ein einheitlicheres Endprodukt. Der Niederdruck-Plasmaascher dient zum Aschen von organischem Material und wird auch zum Plasma-Desmearing verwendet. Das Niederdruckplasma ermöglicht einen schnellen Ätzprozess ohne Beschädigung des Substrats und hinterlässt eine sehr saubere Oberfläche mit guter Gleichmäßigkeit. Der Hochdruckplasmaätzer ist darauf ausgelegt, Metalle, Oxide und Polymere effizient zu ätzen. Das System verwendet Sauerstoff-, Cl2 und SF6-Gase, um Material bis zur gewünschten Dicke zu entfernen. Die automatische Steuerung von LAM RESEARCH 490 ermöglicht ein stabiles Ätzen und gewährleistet ein konsistentes Endprodukt. 490 wurde entwickelt, um verbesserte Prozessfähigkeiten in die Halbleiterindustrie zu bringen. Seine vielfältigen Prozessfähigkeiten ermöglichen eine flexible und präzise Verarbeitung von Substraten und sein Hochdruckätzen sorgt für genaues Ätzen und eine verbesserte Ausbeute. LAM RESEARCH 490 wurde mit einem automatisierten Steuerungssystem entwickelt, um sicherzustellen, dass der Prozess reproduzierbar ist und der luftgekühlte Hochdruckmechanismus die Plasmen sauber hält, was ein genaueres Ätzen und Aschen von Halbleiterbauelementsubstraten ermöglicht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor