Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9244750 zu verkaufen

Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
490
ID: 9244750
Etcher Gases: Nitrogen, Oxygen, Sulfur Hexafluoride, Helium, Chlorine.
LAM RESEARCH 490 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine. Es ist ein vielseitiges, leistungsstarkes Werkzeug, das die Anforderungen der anspruchsvollsten Prozessanforderungen erfüllen kann. Das System wurde mit fortschrittlicher Technologie entwickelt, die hohe Effizienz, optimale Produktivität und hohen Durchsatz bietet. Das Gerät nutzt eine Vielzahl fortschrittlicher Ätzprozesse wie ionengestütztes Ätzen, Plasmaätzen und Partikelstrahlätzen. Durch Ätzprozesse kann die Maschine die Materialoberflächen schnell und präzise manipulieren, so dass komplexe Muster und Konstruktionen in das Substrat geätzt werden können. Das Tool ist auch in der Lage, qualitativ hochwertige Schrittabdeckung zu produzieren, so dass es ideal für die Weiterentwicklung von Geräteprozessen in Forschung und Entwicklung ist. Das Asset verfügt über eine anpassbare Kammergröße, so dass Benutzer eine Ätzfläche und -tiefe auswählen können, die optimal für die Anforderungen ihres Prozesses ist. Es verfügt auch über erweiterte Prozessüberwachungsfunktionen, wie die E-Gas-Serie, mit der Benutzer den Ätzprozess und die Ätzrate überwachen können. Dadurch wird sichergestellt, dass der Prozess genau wie vorgesehen durchgeführt wird, was zu höheren Ausbeuten fortschrittlicherer Geräte führt. Das Modell wird auch mit einer Vielzahl von Prozessrezepten geliefert, so dass Benutzer ihre Prozesse schnell und einfach einrichten können. Zusammen mit den Rezepten enthält es auch Rezeptunterstützung für verschiedene Ätzprozesse. Dadurch ist die Anlage hochgradig konfigurierbar und mit anderen Produktionsprozessen, wie z.B. Elektroabscheidung und Waferbonden, interkompatibel. Zusätzlich zu seinen Prozessfähigkeiten verfügt das System auch über automatische Kammerreinigung und automatisierte Wartungsfunktionen, die maximale Verfügbarkeit und Zuverlässigkeit der Einheit gewährleisten. Mit einer bewährten Erfolgsbilanz von zuverlässiger Leistung und Robustheit ist 490 eine gute Wahl für jeden Ätz- und Ascherprozess.
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