Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9244799 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 ist ein Ätzer/Ascher, der erweiterte Funktionen für Hochgeschwindigkeitsleistung und eine bessere Prozesskontrolle bietet. Mit Hilfe der linearen vertikalen Ätz-/Aschetechnologie bietet dieser Ätzer/Ascher die ultimative Halbleiterverarbeitungsleistung und Prozesssteuerung. 490 besteht aus zwei unterschiedlichen Kammern. Die Ätzkammer bietet eine vakuumbasierte Prozessumgebung, während die Aschkammer eine atmosphärische Prozessumgebung bietet. Der Ätzer/Ascher ist auch mit einer Vier-Rahmen-Linearstufe ausgestattet, die eine größere Probenfläche als herkömmliche Zwei-Rahmen-Modelle bietet. Die Ätzkammer von LAM RESEARCH 490 ist mit einer Hochfrequenz- und Mikrowellenquelle ausgestattet, die eine breite Palette von Ätz- und Glühtechniken wie Trockenätzen, Nassätzen und Nachätzbehandlung ermöglicht. Mobile und stationäre Substrate können in die Ätzkammer geladen werden, wodurch ein breites Spektrum an Substraten und Merkmalsgrößen bereitgestellt wird. Die Ätzkammer ist ebenfalls pellikelfrei betreibbar und enthält einen Quarzduschkopf zur gleichmäßigen Probenätzung. Die Aschekammer von 490 verwendet Quarzkasten-Plasmapistolen für höhere Serienproduktion. Diese Kammer ist auch mit einem Lastschloß und einem Transfersystem zum effizienten Be- und Entladen von Substraten ausgestattet. Beide Kammern bieten auch eine Regelung der Strömung, des Drucks und der Temperatur sowie der Endpunkterkennung. LAM RESEARCH 490 bietet darüber hinaus weitere erweiterte Funktionen wie eine Reihe von Präzisionsreinigungsprozessen, Oxid-Liftoff-Funktionen und Prozesskassettensystem. Dieser Ätzer/Ascher ist für die optimale Ausnutzung von Prozessgasen mit Durchgangswandgasverteilung und Dual-Wall-Gasleitungen ausgelegt, die die Effizienz der Gaszufuhr maximieren. Darüber hinaus ist diese Ätz-/Aschemaschine mit fortschrittlicher Automatisierung ausgestattet und bietet eine Vielzahl von Prozessrezepten, um verschiedenen Anwendungsanforderungen gerecht zu werden. 490 ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der hohe Leistung, Prozesskontrolle und Genauigkeit bietet. Mit seinem breiten Spektrum an Ätz- und Aschetechniken, Plasmapistolen und zukunftsweisender Automatisierung ist LAM RESEARCH 490 die ideale Lösung für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanforderungen.