Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9251245 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 ist ein Hochleistungsätzer und Ascher, der beim Ätzen und Reinigen einer Vielzahl von Materialien verwendet wird, darunter Metalle, Polymere, Silizium und andere Halbleitermaterialien. Es handelt sich um eine Mehrkammerstruktur mit Last- und Substratkassette, einem einzigen Lastschloß, einer Vorreinigungskammer, einer Ätzkammer, einer Nachreinigungskammer und einer Spülkammer. Die Maschine ist zum Ätzen und Reinigen von Halbleiterscheiben in einer einzigen Bearbeitungskammer ausgelegt, wodurch eine gleichzeitige oder sequentielle Bearbeitung mehrerer Substrate möglich ist. 490 verwendet ein hochkonfigurierbares Prozessrezept, das entsprechend den Anwendungsanforderungen erstellt wird. Es kann mit variablen Quellen von HF-, DC- und AC-Leistung, sowie anderen Parametern wie Druck, Temperatur, Durchflussrate und Plasma Verweilzeit programmiert werden. Das Gerät ist mit einer hochauflösenden Direktsichtkamera ausgestattet, mit der der Prozess überwacht werden kann. Die Maschine ist auch mit einem Datenerfassungssystem ausgestattet, das alle Prozessparameter und Bedingungen aufzeichnet. LAM RESEARCH 490 kann für hochauflösendes Ätzen, reaktives Ionenätzen, tiefenreaktives Ionenätzen, Oxidätzen und Oxidätzen mit hoher Selektivität verschiedener Materialien sowie Ätzen von fortgeschrittenen Materialien wie chemisch bedampften dünnen Filmen eingesetzt werden. Zusätzlich kann die Einheit zur Substratreinigung wie Naßätzen, Elektropolieren oder Substratreinigung mit chemischen Ätzmitteln oder Gasen verwendet werden. 490 Maschine ist für eine Standard-Produktionsumgebung konzipiert, die eine strenge Steuerung des Prozesses auf Plattformebene und einen hohen Durchsatz bietet. Das Tool ist einfach zu bedienen und verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche, so dass es ideal für Wafer-Bearbeitungsanwendungen ist. Der modulare Aufbau bietet zudem Flexibilität und Skalierbarkeit und ermöglicht eine effiziente Integration mit anderen Fertigungsanlagen und -prozessen. LAM RESEARCH 490 ist zuverlässig und langlebig und eignet sich daher für den langfristigen Einsatz in Produktionsumgebungen.