Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9262860 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 ist eine Ätz-/Aschermaschine, die für die Anforderungen der anspruchsvollsten Anwendungen entwickelt wurde. Mit seinen hochmodernen Fähigkeiten und Performance ist 490 System ein hochentwickeltes Ätz- und Aschewerkzeug für Halbleiteranwendungen. LAM RESEARCH 490 verfügt über eine große Anzahl von Funktionen, die alle darauf zugeschnitten sind, überlegene Ätz- und Veraschungsfunktionen bereitzustellen. Ein verbesserter Wafer-Roboter mit einer erweiterten Fähigkeit zur Wafer-Handhabung sorgt für weniger Wafer-Kratzer, während die integrierte Wafer-Handhabungseinheit hilft, das Risiko von Chip-Schäden zu reduzieren. Für das Ätzen verwendet 490 Maschine ein innovatives, thermisch gesteuertes Plasma Uniformity Control Tool (PUC) zur Feinabstimmung und Steuerung von Ätzparametern für beste Ergebnisse auf einer Vielzahl von Materialien und Substraten. Darüber hinaus umfasst LAM RESEARCH 490 ein einzigartiges substratkonfigurierbares Pre-Clean Process Module (PCPM) zur Optimierung von Prozessrückständen auf verschiedenen Substraten. Das robuste Steuermodell von 490 Geräten sorgt für ein hohes Maß an Wafer-zu-Wafer-Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit. Dies hilft, werkzeug- und benutzerabhängige Variationen zu minimieren und gleichzeitig die Produktivität zu optimieren. Die in LAM RESEARCH 490 enthaltene Prozesssteuerungssoftware soll Anwendern helfen, Ätz-, Profil- und Linearitätsleistungen zu optimieren und gleichzeitig Echtzeit- und Prozessprotokolle anzuzeigen. 490 Gerät ist auch mit einer fortschrittlichen Sicherheitsüberwachungs- und Steuerungsmaschine (SMSC) ausgestattet, die die Chancen von Unfällen oder Fehlbearbeitung von Wafern drastisch reduziert, indem es dem Bediener ermöglicht, bei Bedarf einzugreifen und Korrekturmaßnahmen zu ergreifen. Darüber hinaus bietet das Tool ein integriertes Wartungs-Modul, das Anwendern bei der Verfolgung und Verwaltung von Wartungsaufzeichnungen und der Planung von Wartungsintervallen hilft, um sicherzustellen, dass das Asset gut gewartet und problemlos ausgeführt wird. Um die beste Ätzleistung zu nutzen, umfasst LAM RESEARCH 490 einen High-End-HF-Generator und eine breite Palette von Plasmaoptionen. Der fortschrittliche HF-Generator ermöglicht maximale Flexibilität und Kontrolle über den Ätzprozess durch eine breite Palette von HF-Leistungsstufen. Darüber hinaus verfügt das Modell über mehrere erweiterte Optionen, wie Multi-Wafer-Ätz- und Ultra-Low-Gap-Ätzverfahren für die Feinabstimmung von Prozessparametern, um die Prozessgleichförmigkeit am besten zu gewährleisten. Zusammenfassend sind 490 Geräte beispielhaft für erweiterte Ätz- und Aschefunktionen mit seiner hervorragenden Einheitlichkeit und hervorragenden Produktsicherheit sowie einer Vielzahl leistungsstarker Funktionen. Als solches ist das System eine perfekte Wahl für Halbleiteranwendungen mit hohen Ätzanforderungen.