Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9268075 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 ist eine Plasmaätz-/Asperanlage, die für Produktion und Forschung entwickelt wurde. Es bietet einen hohen Durchsatz mit fortschrittlicher Prozesskontrolle und enger Kammereinheitlichkeit. Das System ist in der Lage, sowohl harte als auch weiche Materialien wie Oxide und Nitride mit hoher Leistung zu ätzen/aspern. Das Ätzen und Asphären erfolgt mit hoher Genauigkeit. Die Kammer hat eine enge Gleichmäßigkeit, so dass sie robust und einfach zu bedienen ist. Das Gerät ist zudem mit Plasmadiagnostik und einer hochentwickelten Prozesssteuerungsmaschine für Präzisionsätzen und Asphering ausgestattet. Der Reaktor ist mit einer Plasmaquelle und einer speziellen Elektrodenanordnung ausgestattet, die auf das Ätzen oder Asphären verschiedener Materialien zugeschnitten ist. Das Plasma wird durch ein Gemisch von Gasen wie Chlor, Schwefelhexafluorid und Sauerstoff erzeugt, die in die Kammer eingespritzt werden. Die Kammer wird üblicherweise mit dem gewünschten Prozessgas gefüllt, ein- und ausgepumpt, um den optimalen Druck und die optimale Temperatur zu halten. Zur Prozessoptimierung können verschiedene Prozessparameter geändert werden. Der Druck, die Temperatur und die Gleichspannungsvorspannung der Kammer können eingestellt werden, um gewünschte Ätz- und Asphärierraten zu erhalten. Die Parameter können auch auf die Feinabstimmung der Ätzqualität und des Produktprofils abgestimmt werden. Die Kammer kann auch auf die gewünschten Einstellungen eingestellt werden, die eine vollständige Prozesssteuerung während des Produktionszyklus ermöglichen. Das Werkzeug ist auch mit Sicherheitsmerkmalen wie Gasdetektoren und Druckreglern ausgestattet. Die Gasdetektoren ermöglichen das Abschalten der Anlage bei Erkennung gefährlicher Gase, während die Druckregler sicherstellen, dass der Kammerdruck und die Temperatur im erforderlichen Bereich bleiben. 490 ist ein fortschrittliches Ätz- und Asper-Modell, das zuverlässiges und präzises Ätzen/Ansaugen für harte und weiche Materialien bietet. Die Kombination aus fortschrittlicher Prozesskontrolle und enger Kammereinheitlichkeit macht es zu einem wirksamen Werkzeug für produktions- und forschungsbasierte Prozesse.