Gebraucht LAM RESEARCH 490 #9399666 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die für die Serienproduktion mit schnellen Zykluszeiten und erhöhtem Durchsatz entwickelt wurde. Das System eignet sich ideal zum hochpräzisen Durchdickenätzen oder Aschen. Sein Hochgeschwindigkeitsgenerationsmotor mit Direktantrieb bietet hervorragende Wiederholbarkeit, Durchsatz und Ausbeute. 490 ist eine extrem schnelle und zuverlässige Einheit, die konfiguriert ist, um Ausfallzeiten zu minimieren und die Leistung zu maximieren. LAM RESEARCH 490 nutzt die Plasmaätz-/Aschetechnologie unter Verwendung einer Plasmakammer und Quarz- oder Keramikätz-/Aschemasken, die sich ideal für Anwendungen wie DRAM ILD etch oder MEMS Type I etch eignet. Die offene Rahmenkonstruktion sorgt für einen optimierten Werkzeugzugang mit integriertem Aluminiumkanal für schnellen und flexiblen Werkzeug-Wafer-Plattenaustausch. 490 ist für die Großserienfertigung konzipiert und seine fortschrittlichen Substrathandhabungsfunktionen wie Unterkammerbelastung/Entladung, Substratübertragungsarm und automatische Maskierung machen es zu einer idealen Lösung für eine erhöhte Betriebsproduktivität. LAM RESEARCH 490 verfügt außerdem über eine fortschrittliche Prozessüberwachungsmaschine, ein leistungsstarkes Vakuumwerkzeug und einen automatisierten Plasma-Tuning-Algorithmus, der eine gleichbleibende Ätz-/Aschequalität gewährleistet. Darüber hinaus ist die Anlage für maximale Wiederholbarkeit ausgelegt, mit einem schnellen Plattenaustausch und einer Vielzahl von Substratgrößen und -formen. Für das gleichmäßige, hochpräzise Ätzen oder Aschen der anspruchsvollsten Substrate ist 490 Ätzer/Ascher die ideale Wahl. Mit konstanten Plasmaparametern, verbesserter Gleichmäßigkeit und erhöhtem Durchsatz ist LAM RESEARCH 490 eine ideale Wahl für harte Ätz- oder Aschearbeiten.