Gebraucht LAM RESEARCH 490B #9112925 zu verkaufen

LAM RESEARCH 490B
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
490B
ID: 9112925
Wafergröße: 6"
Dry etcher, 6".
LAM RESEARCH 490B ist ein Plasmaätzer für die Forschung, Entwicklung und Produktion von Hochleistungselektronik. Dieses Modell ist ideal für Anwendungen, die glatte, gleichmäßige Ätzungen auf Substraten verschiedener Formen, Größen und Materialien erfordern. Es verfügt über eine orthogonale, einstellbare Nebenspannung, nicht-resonante, Ganzmetall-Hochfrequenz-Ionen-Quelle, die hohe Geschwindigkeit und einheitliche Ätzprozesse erzeugt. LAM RESEARCH 490/B verfügt zudem über ein automatisches Substratausrichtsystem für eine schnellere Substratbeladungszeit sowie eine breite Palette von Steuerparametern zur erhöhten Kontrolle des Prozesses. 490B ist so konzipiert, dass sie einfach von einem Touchscreen-Terminal aus konfiguriert und bedient werden kann. 490/B bietet eine breite Palette von Plasmaätzfähigkeiten, von Tiefätzen auf dicken Filmen bis zu flachen Ätzen auf dünnen Filmen. Es kann eine Vielzahl von Materialien wie Metalle, Gläser, Polymere und Keramik ätzen, so dass es in einer Reihe von Einstellungen vielseitig. LAM RESEARCH 490B bietet auch einen optionalen Tieftemperatur-Plasmaätzer (LTPE) an, der sich zum Ätzen hochsensibler Materialien oder für Prozesse eignet, bei denen niedrige Temperaturen erforderlich sind. Dieses Modell bietet auch eine verbesserte Ätzgleichförmigkeit unter Zusatz eines internen Mischers, um die Arbeitsgase gleichmäßig um das Substrat zu mischen. LAM RESEARCH 490/B kann mit einer Vielzahl von beliebten Ätzchemikalien verwendet werden, einschließlich Tetrafluorkohlenstoff (CF4), Schwefelhexafluorid (SF6), Sauerstoff (O2), Argon (Ar) und Chlor (Cl2). 490B verfügt auch über Reinraumkompatibilität, die es sicher für den Einsatz in sensiblen Bereichen macht. Um die Sicherheit zu gewährleisten, ist das System mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, darunter Zwei-Wege-Isolation, Gaserkennung, Kühlsysteme und mehrere Sicherheitsverriegelungen. 490/B ist ein wesentliches Werkzeug für die Herstellung von Produkten mit hervorragenden Leistungsmerkmalen. Seine fortschrittliche Ätztechnologie kann präzise Ätzmuster bei hohen Geschwindigkeiten mit einer extrem hohen Wiederholbarkeit erzeugen. Sein breites Leistungsspektrum, benutzerfreundliche Funktionen und Sicherheitsmerkmale machen LAM RESEARCH 490B zu einem idealen Ätzer/ascher für zahlreiche Anwendungen.
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