Gebraucht LAM RESEARCH 496B #9268074 zu verkaufen

LAM RESEARCH 496B ist ein Ätzer/Ascher, der zum Ätzen und Aschen von monokristallinen sowie polykristallinen Wafern verwendet wird. Diese Plattform dient zum Durchätzen verschiedener Filmschichten, wie z.B. Photolack, zur Musterdefinition und zur Erzeugung bestimmter Strukturen innerhalb von Oxidschichten. Diese Art von Ätzer/Ascher verwendet elektromagnetische Wellen, um gasförmige Moleküle innerhalb der Reaktorkammer anzuregen, was zu einem molekularen Zusammenbruch und einer Reaktion führt, was zu einem Ätz- oder Aschevorgang führt. 496B verfügt über eine Kammer aus Edelstahl, die mit der Zeit korrosionsbeständig ist. Die Kammer wird von einer Gleichstromquelle angetrieben. Dieser Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um präzise, zuverlässige und wiederholbare Prozessergebnisse zu bieten. Die Wafer werden innerhalb der Kammer einer Reihe von Chemikalien auf Fluorbasis ausgesetzt, wodurch ein hoch wählbarer Ätzprozess entsteht, der genau auf die Bedürfnisse des jeweiligen zu verarbeitenden Substrats zugeschnitten werden kann. Es verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich einer eingebauten Gasüberwachungsausrüstung und einer Sicherheitsverriegelung. LAM RESEARCH 496B ist in der Lage, Wafer bis 12 Zoll Durchmesser zu ätzen/zu waschen und kann bis zu acht Wafer pro Charge handhaben. Es verfügt über eine automatische Waferübertragungseinheit, mit der die Wafer schnell von der Kassette zum Ätzer/Ascher und wieder zurück bewegt werden können. Die Maschine verfügt über einen Steuerrechner mit intuitiver Software, die eine Anpassung der Ätz-/Ascheparameter ermöglicht. Dieser Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um maximale Prozessflexibilität und Reproduzierbarkeit bei minimalem Abfall und Ausfallzeiten zu bieten. Das Tool wurde umfassend getestet und validiert, um Prozessgenauigkeit und Reproduzierbarkeit sowie Sicherheitsstandards zu gewährleisten. 496B liefert laborgenaue Genauigkeit und Leistung, um hohe Erträge und niedrige Betriebskosten zu gewährleisten.