Gebraucht LAM RESEARCH 571-065780-702 #293668180 zu verkaufen

LAM RESEARCH 571-065780-702 ist ein leistungsstarker, mehrzoniger Ätzer/Ascher für nichtflüchtige Ätz- und/oder saubere Verarbeitung. Diese Ausstattung umfasst neben zwei unabhängigen, integrierten Hochvakuum-Prozessmodulen mehrere Vollwafer-monatomische und pneumatische Wafer-Handhabungsfunktionen. Die Module verfügen sowohl über Ätz- als auch Aschermaschinen und ermöglichen bei Bedarf schnelle Wechsel zwischen Ätz- und Aschermaschinen. Die unabhängigen Prozessmodule bieten Flexibilität und verbesserten Durchsatz, wobei jedes Modul bis zu zwei Wafer aufnehmen kann, was verlängerte Ätz- und Reinigungszeiten ermöglicht. Jedes Prozessmodul umfasst eine Lastschloßkammer, eine Substratübertragungskammer, eine Kryoätzkammer und eine Hochenergie-Plasmakammer. Die Transferkammer ist so konfiguriert, dass sie einen 300mm-Wafer auf einem Standardträger montiert. Der Träger kann leicht für andere Wafergrößen angepasst werden. Der Motor enthält mehrere Gasverteiler für verbesserte Prozessgleichförmigkeit und Kontrolle und ist in der Lage, bis zu vier Abschirmgasquellen für eine verbesserte Prozessflexibilität zu unterstützen. Der Ätzer/Ascher ist mit ultrahohen Impfstoffpumpen ausgestattet, um eine hohe Vakuumleistung zu ermöglichen, die für die Herstellung hochwertiger Ätzungen erforderlich ist. Das Prozessfenster kann über das Prozessleitsystem abgestimmt werden und bietet eine verbesserte Prozesssteuerung und Einheitlichkeit. Die hochpräzise Waferübertragungseinheit sorgt für eine reibungslose und präzise Bewegung, wie von LAM RESEARCH erwartet. Der verstellbare Wafer-Positionierer bietet eine hohe Wiederholbarkeit und Genauigkeit der Wafer-Platzierung. Insgesamt ist 571-065780-702 ein hochentwickelter, mehrzoniger Ätzer/Ascher, der für eine Vielzahl von Ätz- und Verarbeitungsanforderungen entwickelt wurde. Es bietet eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit, Zuverlässigkeit und Durchsatz sowie fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware. Die Präzisions-Wafer-Transfermaschine garantiert eine hervorragende Wiederholbarkeit und Genauigkeit, während die breite Palette von Gasverteilerkanälen eine präzise Prozesskontrolle gewährleistet. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für qualitativ hochwertige Ätzungen und wird für industrielle Anwendungen sehr empfohlen.