Gebraucht LAM RESEARCH 571-065780-703 #293668173 zu verkaufen

ID: 293668173
Gas box, parts machine.
LAM RESEARCH 571-065780-703 ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für Plasmaätzanwendungen entwickelt wurde. Dieses Modell verfügt über ein hohes Leistungsniveau mit seinem effizienten 20-MHz-Oszillator, der reine Niederdruckplasmen erzeugt, die die Ätzrate und -qualität optimieren. Der eigenständige Aufbau umfasst eine Elektronenbeschuss-Ionenquelle vom Triodentyp, eine Prozesskammer und ein Hochleistungsgasverteilungsnetz. Es verwendet ein fortschrittliches Einzeltaschen-Design für eine hohe Gleichmäßigkeit von Druck, Temperatur und Gasverteilung über den Ätzbereich. Dieses Modell verfügt außerdem über ein selbstvermeidendes Spannfutter und eine automatisierte Wafer-Transferausrüstung. Diese Kombination von Eigenschaften garantiert eine verbesserte Ätzqualität bei einer Vielzahl von Prozessbedingungen. 571-065780-703 verfügt außerdem über eine erweiterte Zweikammer-Prozesskammer, mit der zwei parallele Prozesse gleichzeitig ausgeführt werden können. Diese Funktion ermöglicht einen effizienteren Durchsatz und verbesserte Qualität und Durchsatz bei der Durchführung mehrerer Prozesse. Die Prozesskammer umfasst auch eine Wärmedämmung, die als Schutzschild vor dem Plasma dient und eine gleichmäßige Temperatur für den gesamten Prozessbereich gewährleistet. Das thermoelektrische Kühlsystem ist ebenfalls enthalten, um den durch das Plasma verursachten Heizeffekt zu reduzieren. Die gesamte Einheit ist in einer geringen Materialumgebung eingeschlossen, was die Ätzeffizienz und Produktqualität weiter verbessert. LAM RESEARCH 571-065780-703 ist auch mit fortschrittlicher Steuerungssoftware ausgestattet, die eine automatisierte Prozesssteuerung und Rezepturtechnik für optimale Ätzergebnisse ermöglicht. Diese Maschine verfügt über eine intuitive Mensch-Maschine-Schnittstelle, die eine effiziente und präzise Steuerung der Ätzprozessparameter und Rezepte ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht dieses hochmoderne Steuerungstool es Anwendern, Ätzparameter nach ihren individuellen Produktionsanforderungen und -anforderungen anzupassen. Insgesamt ist 571-065780-703 ein einwandfreier Ätzer/Ascher für High-Flow-Plasmaätzanwendungen. Es ist anerkannt für seine Effizienz, überlegene Prozesskontrolle und seine Fähigkeit, Qualität und Einheitlichkeit über eine breite Palette von Ätzbedingungen zu garantieren.
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