Gebraucht LAM RESEARCH 580 #9268110 zu verkaufen

LAM RESEARCH 580 ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die es integrierten Schaltungsherstellern ermöglicht, geätzte und aschierte Schichten in ihrem Herstellungsprozess effizienter und genauer zu verarbeiten. Dieses System wurde mit der Prozessnuance fortschrittlicher Inspektions-, Ätz- und Aschetechnologie entwickelt, um eine qualitativ hochwertige Produktion von Anwendungen in einer Vielzahl von Branchen sicherzustellen. Es bietet eine integrierte Einheit, die für mehrere Prozessschritte geeignet ist, einschließlich Lithographie, Etch, Etchback, Messtechnik und Asche. Die Maschine hat eine große Bearbeitungsfläche von 330 mm x 330 mm und kann eine breite Palette von Wafern mit bis zu 500 mm Durchmesser aufnehmen. 580 enthält eine funktionsreiche, effiziente und genaue Bewegungssteuerungsfähigkeit und wird von Hochleistungslinearmotoren angetrieben, die Positions-, Geschwindigkeits- und Kraftsteuerung bieten und das Beste in Präzision und Zuverlässigkeit ermöglichen. Ein automatisiertes Wafer-Ausrichtungswerkzeug ist ebenfalls enthalten, das die Präzision und Genauigkeit während des gesamten Prozesses verbessert. Diese Anlage bietet auch eine Vielzahl von Ätz- und Aschechemikalien, um ein Maximum an Prozessflexibilität zu bieten. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH 580 über eine Reihe proprietärer Rezepte und Prozesswerkzeuge, wie OPC Pattern Processing, Arc Stripe-Specific Sources und Position Error Correction. Diese Tools tragen zu einer besseren Ätzgenauigkeit und einem besseren Durchsatz bei. Das Modell umfasst auch fortschrittliche Messtechnik und Inspektionswerkzeuge, wie hochmoderne optische, kapazitive und widerstandsfähige Sensoren, um die Waferqualität zu maximieren und Abfall und Nacharbeit zu minimieren. Darüber hinaus ist diese Ausrüstung mit einer Reihe von Sicherheits- und Umweltmerkmalen ausgestattet, einschließlich eines internen Chemikalienmanagementsystems, einer Inertgasspülung und einer sicheren Eindämmungsmöglichkeit. Diese Funktionen sorgen für einen sicheren und umweltbewussten Betrieb. 580 ist eine zuverlässige, funktionsreiche Einheit, die den Prozessanforderungen verschiedener Anwendungen gerecht wird. Es kann ein Toolset von Funktionen und Werkzeugen zur Verfügung stellen, um Lithographie-, Ätz-, Asche- und Messtechnik-Prozessschritte zu ermöglichen, die einfach zu bedienen und erschwinglich sind.