Gebraucht LAM RESEARCH 590 #293595902 zu verkaufen

LAM RESEARCH 590 Ätzer/Ascher ist ein fortschrittliches Gerät, das häufig in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist eine chemische Nassätzmaschine, die Funktionen von 1-2000 Nanometern Breite ätzen kann. Das Ätzverfahren wird angewendet, um Material selektiv von einem Substrat zu entfernen, wodurch sich präzise strukturierte Merkmale auf solchen Substraten bilden können. 590 ist mit einer breiten Palette von Funktionen ausgestattet, um das Ätzen und Aschen zu unterstützen. Es hat einen trockenen für den niedrigen optimierten Ätzenraum ätzen Raten, und Doppellasermikrowellenplasma ätzt Technologie, die ermöglicht, höher ätzen Raten und höhere Filmlinienrandrauheitskontrolle. Es enthält auch ein hochgradig konfigurierbares Frontend und ein integriertes HF-Bias-Modul. Um qualitativ hochwertige Ätzungen zu gewährleisten, verfügt es über eine automatische druckseitige Plasmasteuerung und eine patentierte Steuereinrichtung zur Optimierung der Ätzzeiten. Die Nassätzkammer aus Edelstahl verfügt über ein eingebautes Elektro-Abscheidungsmodul für Metallätzarbeiten, das die Selektivität maximiert. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, eine Reihe von Prozessgasen und Druck für die entsprechende Ätzumgebung für verschiedene Materialien zu unterstützen. Er weist außerdem den luftgekühlten HF-Generator und ein Gasmischblech für präzisen Gasstrom auf. LAM RESEARCH 590 bietet erweiterte Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen mit Echtzeit-Prozess-Feedback. Es verfügt über ein leistungsfähiges hochrangiges Computersteuerungssystem, mit dem Benutzer alle Ätzprozesse steuern und überwachen können. Die integrierte Einheit umfasst sichere Hochgeschwindigkeitskommunikation sowie fortschrittliche Sicherheitssysteme einschließlich einer Vakuumprüfmaschine, Sicherheitsverriegelungen und einem geätzten Gasförderwerkzeug. 590 ist eine ausgezeichnete Maschine zum Ätzen und Aschen von Wafern. Es bietet überlegene Ergebnisse mit einer schnellen Ätzzykluszeit, was es zu einem wertvollen Kapital in der Halbleiterherstellung macht. Die fortschrittlichen Funktionen, das robuste Design und die Benutzerfreundlichkeit machen LAM RESEARCH 590 zu einer guten Wahl für das Ätzen und Aschen.