Gebraucht LAM RESEARCH 590 #9100791 zu verkaufen

LAM RESEARCH 590 ist ein Hochleistungs-Präzisionsätzer/-ascher, der entwickelt wurde, um hohe Seitenverhältnisse und mikroelektronische 3D-Strukturen zu verarbeiten. Es verwendet modernste Software, um eine umfassende Fähigkeit für Ätz- und Ascheanwendungen in verschiedenen Materialien und Prozessen bereitzustellen. 590 ist aufgrund seiner hohen Durchsatzkonfigurationen und flexiblen Prozessmodule für die industrielle Produktion geeignet. Die Kammer von LAM RESEARCH 590 besteht aus Keramik und Titan und bietet chemische Beständigkeit und Hochtemperaturtoleranz. Es ist mit fünf elektromagnetischen Spulen ausgestattet, um ein gleichförmiges elektromagnetisches Gleichfeld über den Ätzbereich bereitzustellen, was sowohl ein gleichmäßiges Ätzen als auch eine hohe Selektivität gewährleistet. Die Elektroden sorgen für eine stabile und wiederholbare DC-Vorspannung und bieten einen weiten Bereich von Ätztiefen. Eine LAM-patentierte Elektron-Cyclotron-Resonanz (ECR) -Quelle zündet das Verfahren mit einem Hochfrequenzplasma, was zu einer effektiven Ätzung mit hoher Selektivität und wenig Nebenprodukten führt. Seine proprietäre Gas dynamische Kompressor Ausrüstung liefert Niederdruck Ätzen mit gleichmäßigem Gasfluss und radialen Plasmaausgang, was zu hochauflösenden Ätzungen. 590 umfasst das patentierte Computer Automated Sampling & Handling System (CASH) von LAM für effizientes Probenladen und Plasma-Diskriminierung. Die Lünetten-Erkennungstechnologie (BRT) für automatisiertes Wafer-Handling und Ausrichtung sorgt für eine optimale Präzision des Stempels. Die Maschine ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen von 5mm bis 7,5 "aufzunehmen. Die LAM Motion Control Unit (LMS) bietet fortschrittliche Bewegungssteuerungstechnologie für LAM RESEARCH 590, die eine schnelle und genaue Probenplatzierung bei Durchsatz ermöglicht. Die integrierten automatisierten Prozessrezepte sorgen für effizientes und zuverlässiges Ätzen mit optimalen Parametern. Die fortschrittliche Vakuummaschine verfügt über mehrere Funktionen, die ein gleichmäßiges Ätzen und eine verringerte Partikelverschmutzung ermöglichen. Zum Beispiel ist das Hot-Cold-Vacuum Pumping Tool speziell entwickelt, um Makropartikelverunreinigungen zu verhindern, während ein aktiver Backside Pressure Monitor eine Makroverschmutzung auf der Rückseite des Wafers verhindert. 590 ist ein Gut mit hohem Durchsatz, das zuverlässig und benutzerfreundlich ist. Seine fortschrittliche Automatisierung und Kontrollen garantieren Wiederholbarkeit und hohe Ausbeute. Mit seinen verschiedenen Eigenschaften ist LAM RESEARCH 590 sehr effektiv bei der Durchführung von Präzisionsätzen und -veraschungen für industrielle, MEMS und 3D mikroelektronische Strukturen.