Gebraucht LAM RESEARCH 590 #9145838 zu verkaufen

LAM RESEARCH 590 Ätzer/Ascher ist eine automatisierte, hochleistungsfähige Plasmaätz- und/oder Aschevorrichtung. Es wurde entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen der fortschrittlichsten Halbleiterbauelementehersteller zu erfüllen und kann sowohl F & E- als auch Produktionsanwendungen unterstützen. 590 setzt modernste Technologie kostengünstig ein, um überlegene Leistung und Prozessflexibilität zu bieten. In Bezug auf die Hardware besteht LAM RESEARCH 590 aus Vakuumkammern mit oberen und unteren Elektrodenanordnungen, DC- und HF-Stromversorgungen sowie einer Reihe von Prozessgassteuerungs- und Liefermöglichkeiten. Das System verfügt über zwei verschiedene Bearbeitungskammern: eine eigene Plasmaätzkammer und eine eigene Plasmaaschkammer. Der Ätzer ist mit einem High-End-HF-Stromgenerator und einer proprietären Elektrodenanordnung ausgestattet, während der Ascher eine direktionale Gleichstromquelle aufweist. Die Kammern sind mit einer warmwandigen Pumpeinheit gekoppelt, was den Prozessdurchsatz erhöht und die Wartung insgesamt reduziert. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Reihe von Prozessgassteuerungs- und Lieferoptionen, einschließlich eines zeitgesteuerten Einspritzwerkzeugs für optimierte Leistung. In Bezug auf den Ätzprozess verwendet 590 eine quecksilberbasierte HF-Energiequelle und Entladungen, um ein hochgleichmäßiges Ätzprofil mit genauer und wiederholbarer Tiefenkontrolle zu erzeugen. LAM RESEARCH 590 ermöglicht eine präzise Steuerung der Ätzrate und der Profile über den gesamten Wafer, indem die Stromquelle mit einem fortschrittlichen Prozessregelungsmodell gekoppelt wird. Diese einzigartige Kombination aus Hardware und Prozesskontrolle ermöglicht einen höheren Durchsatz, eine höhere Prozessstabilität und höhere Ätzraten bei gleichbleibend deutlich unter den Zieltemperaturen liegenden Arbeitstemperaturen. 590 verfügt auch über eine fortschrittliche Etch-Recovery-Ausrüstung mit automatisierter Wartung und Validierung. Dieses System ermöglicht eine schnelle Wiederherstellung von jedem Prozess anomalie, mit einer ganzen Reihe von Geräten und Prozess-Diagnosefunktionen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine echte Prozesssteuerungsmaschine, die eine schnelle und genaue Prozessdiagnose ermöglicht. Insgesamt ist LAM RESEARCH 590 ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der hohe Performance und Prozessflexibilität kostengünstig bietet. Das Hardware- und Prozesssteuerungstool gewährleistet eine hervorragende Ätzgleichmäßigkeit und eine wiederholbare Tiefenkontrolle, während das Ätzwiederherstellungs-Asset eine schnelle und genaue Wiederherstellung bei Prozessanomalien ermöglicht. 590 ist eine gute Wahl für jede Labor- oder Produktionsumgebung, die maximale Prozessleistung und Effizienz erreichen möchte.