Gebraucht LAM RESEARCH 590 #9160079 zu verkaufen

LAM RESEARCH 590 ist eine Ätz-/Aschermaschine, die hauptsächlich für Ätz- und Ascheprozesse in der Hochvolumen-Halbleiterproduktion eingesetzt wird. Dieses System besteht aus einer Plasmaquelle, einem Bedienfeld und einer Kammer. Die 10-kW betriebene Mikrowellen-Plasmaquelle ermöglicht ein präzises und konsistentes Ätzen oder Aschen von Materialien bis zu einer Dicke von 25 µm mit einer Reihe von optionalen Betriebsdrücken und -prozessen. Dieses Gerät ist einzigartig mit einer kryogenen, turbo-molekular gepumpten Atmosphäre Fähigkeiten entworfen, sowie eine 8-Track-Wafer-Handler. Der 8-Spur-Wafer-Handler kann 200 Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll und 15 Gewichten mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm handhaben und ermöglicht ein effizientes und kostengünstiges Be- und Entladen von Substraten. Das Bedienfeld bietet eine genaue, wiederholbare Steuerung der Ätz- und Aschetiefe mit einem Digital Mass Flow Controller (MFC). Der Regler ist so konzipiert, dass er Druck, Temperatur und Durchfluss zum Ätzen und Aschen stabil hält. Die Kammer ist mit einer fortschrittlichen Abschirmmaschine aufgebaut, die Wafer-zu-Plasma-Interferenzen reduziert und die Ätz-/Asche-Gleichmäßigkeit optimiert. Die Kammer sorgt auch bei Ätz- oder Ascheprozessen für eine inerte Atmosphäre, wodurch die Integrität der Substratmaterialien durch eine effiziente Steuerung der Umgebung erhalten bleibt. 590 Ätzer/Ascher-Werkzeug ist ein fortschrittliches Halbleiterverarbeitungswerkzeug mit der Fähigkeit, durch viele Schichten gleichzeitig präzise zu ätzen, zu aschen und zu reinigen, was eine schnellere und kostengünstigere Produktion ermöglicht. Diese Anlage ist für den effizienten Einsatz unter rauen Bedingungen konzipiert, mit sechs einstellbaren Druck- und Temperatureinstellungen für eine optimale Prozesssteuerung. Dieses Modell ist auch für das Be- und Entladen von Wafern optimiert, mit dem 8-Spur-Wafer-Handler, der 200 Wafere bis 15 Gewichte und 8 Zoll Durchmesser handhaben kann. LAM RESEARCH 590 Ätzer/Ascher-Ausrüstung ist ein effizientes und kostengünstiges Halbleiterproduktionswerkzeug.