Gebraucht LAM RESEARCH 590 #9226292 zu verkaufen

LAM RESEARCH 590 ist eine Ätz-/Aschermaschine, die für die Strukturierung von Silizium-Wafern und ausgewählte Anwendungen entwickelt wurde, die eine Ätz- und Aschefähigkeit erfordern. Dieses Ätz- und Aschesystem liefert die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Chargenverarbeitung mit der Flexibilität der Einzelwaferbearbeitung. Es verfügt über einen gleichmäßigen Gasstrom, Kammervolumen und niedrige Temperatur in der gesamten Kammer, was zu einer verbesserten Abscheiderate Genauigkeit und bessere Produktausbeuten führt. Das Gerät bietet auch eine fortschrittliche Gasliefermaschine, die einen minimalen Gasverbrauch pro Prozess ermöglicht. Dieses Tool bietet auch einen Hochleistungs-HF-Generator mit voller Programmierbarkeit für schnelle und zuverlässige Prozesse. Seine verbesserte Source/Drain Hardmask Ätzkammer ist für Einzelwaferätzen optimiert und bietet ultrahochfrequentes Ätzen bei niedrigem ICP-Druck. Mit der Source to Drain Ätzkammer bietet die Anlage eine breite Palette von Prozesstemperaturen und Leistungsstufen, um verschiedene Anforderungen zu erfüllen. Darüber hinaus können 590 mit zusätzlichen Kammern und unterschiedlichen Ätzprozessmöglichkeiten wie Sputterreinigung, Plasmaätzen und Subflächenätzen konfiguriert werden. Dieses Modell bietet Ihnen die Flexibilität, den Prozess an Ihre Bedürfnisse anzupassen. Darüber hinaus hilft Ihnen LAM RESEARCH 590, Ihre Betriebskosten zu senken und den Prozess bei niedrigeren Betriebskosten reibungsloser zu gestalten. Die erweiterten Steuerungsoptionen und die intuitive GUI-Benutzeroberfläche bieten dem Benutzer eine Komplettlösung für seine Muster- und Ätzanforderungen. Insgesamt ist 590 eine branchenführende Ätz- und Ascheausrüstung, die höchste Präzision und Prozesskontrolle bietet.