Gebraucht LAM RESEARCH 590 #9232890 zu verkaufen

LAM RESEARCH 590
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
590
ID: 9232890
Plasma oxide etcher.
LAM RESEARCH 590 ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der zum Präzisionsätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien wie Wafern, Substraten, Leiterplatten, Metallen und Kunststoffen entwickelt wurde. 590 ist ein vollautomatisches Gerät mit einem hochauflösenden Monochromator und einem fortschrittlichen Prozessleitsystem. LAM RESEARCH 590 ist für maximalen Durchsatz konzipiert, mit einer einfach zu bedienenden mehrstufigen Vorprogrammierung. 590 nutzt ein integriertes Subsystem mit geringem Platzbedarf und einer vereinfachten Benutzeroberfläche für die Produktion mit minimalem Eingriff des Bedieners und zuverlässigen Ergebnissen. LAM RESEARCH 590 ist eine Single-Wafer-Verarbeitungsplattform, die eine breite Palette von Substratgrößen aufnehmen kann. Es ist mit zwei Plasmaquellen, zwei Vakuumstufen und einem Mehrpunkt-Sensor und einer Probenplatte mit eingebauter Temperaturmessung ausgestattet. Zusätzlich ist 590 mit einer Hilfsgasfördereinheit ausgestattet und bietet eine Auswahl an Prozessgasen. Die fortschrittliche Prozesssteuerungsmaschine LAM LAM RESEARCH 590 sorgt für hochpräzises Ätzen und Aschen auf Zieloberflächen. Mit seinen eingebauten PID-Anpassungen ist 590 optimiert, um die Kontrolle über die Ätz- und Ascheparameter zu behalten, einschließlich der Möglichkeit, Schichtdicken mit einer Toleranz von +/- 0,001 mm einzurichten. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH 590 in der Lage, Low-Cycle-Time (bis zu 15000 Wafer/Stunde) und Batch-Prozesse mit hoher Gleichmäßigkeit durchzuführen. Der LAM 590 ist für mehr Zuverlässigkeit und Effizienz ausgelegt. Es verfügt über einen 24/7-Wartungsplan und ist in der Lage, Fehler schnell zu erkennen und eine Diagnose für eine einfache Fehlerbehebung bereitzustellen. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH 590 Langzeit-Datenarchivierungsfunktionen, mit denen Benutzer den Status ihrer Prozesse im Laufe der Zeit überprüfen können. 590 ist auf maximale Produktivität, Genauigkeit und betriebliche Effizienz ausgelegt. Mit seiner fortschrittlichen Prozesssteuerung und dem automatisierten Werkzeug eignet es sich gut für Produktionsanforderungen, die ein präzises Ätzen und Aschen erfordern. LAM RESEARCH 590 ist eine zuverlässige Lösung für kundenspezifische Projekte und Großserienproduktion von mikroelektronischen, optoelektronischen, Datenspeicher- und Halbleiterbauelementen.
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