Gebraucht LAM RESEARCH 590 #9275402 zu verkaufen

LAM RESEARCH 590 ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung, die sich ideal für dielektrische, Metall- und Oxidanwendungen eignet. Dieses System wurde entwickelt, um Anwendern einen zuverlässigen und effizienten Ätzprozess zu bieten, der sowohl für die Chargen- als auch für die Inline-Produktion geeignet ist. Mit überlegener Prozessleistung können 590 verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien wie Glas, Silizium und Metalle zu ätzen. LAM RESEARCH 590 verfügt über eine robuste Prozesskammer, die für eine Reihe von Prozessdrücken und Temperaturen ausgelegt ist. Dieses Gerät verfügt über eine große, integrierte Quellplattenkonfiguration, die sich ideal für die Präzisionssteuerung von Ätzraten eignet. Integrierte Prozessalgorithmen und Prozessoptimierungsfunktionen bieten Benutzern die Möglichkeit, Prozessparameter in Echtzeit anzupassen. Die Maschine verfügt über eine erweiterte Benutzeroberfläche, mit der Sie Rezepte konfigurieren, Prozessparameter eingeben und den Ätzfortschritt überwachen können. 590 ist mit einem Hochleistungs-HF-HF-Generator ausgestattet, der in der Lage ist, bis zu 350W an Energie zu liefern, um Zielmaterialien zu ätzen. Ein einzigartiges optisches Dual-View-Tool wird verwendet, um die Ätzrate an der Zielmaterialschnittstelle zu überwachen, während ein Gasfluss-Asset eine genaue Kontrolle der Gaszufuhr und des Prozessflusses bietet. Dieses Modell wurde entwickelt, um die höchste Prozesswiederholbarkeit mit einer integrierten Präzisionssteuerung sowohl der Ätz- als auch der Abscheiderate zu bieten. LAM RESEARCH 590 bietet eine verbesserte Gleichmäßigkeit für dielektrische und Metallabscheidung, die hilft, fehlerfreie Geräte bereitzustellen. Dieses Gerät verfügt über eine Niedertemperatur-Lastsperre, die die Partikelerzeugung minimiert und den Prozessdurchsatz nutzt. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen zur Prozesssteuerung und Prozessoptimierung ist 590 ein ideales System zum Ätzen und Abscheiden von dielektrischen, Metall- und Oxidmaterialien.