Gebraucht LAM RESEARCH 594 #9308907 zu verkaufen

LAM RESEARCH 594 Ätzer/Ascher ist eine große Produktionsanlage, die in der Halbleiterverarbeitung zum Ätzen flacher Gräben, Kontaktgruben oder Vias verwendet wird. Das System verfügt über eine robuste, offene Rahmenkonstruktion, die eine weniger häufige Wartung und eine längere Lebensdauer bietet. Das Werkzeug besteht aus zwei Modulen, einer einzigen Massenätzkammer und einem Aschemodul. Es verfügt auch über eine anpassbare Hardware- und Softwarearchitektur. Die einzige Bulk-Ionenquelle im Ätzmodul liefert einen energiereichen, monospezifischen Ionenstrahl mit bis zu 40 kHz Pulswiederholrate und 10% minimalem Tastverhältnis. Mit dieser Einheit können Benutzer flache Gräben, Kontakte und Vias sowohl über Standard- als auch über erweiterte Maskierungsebenen bis hin zu einer Auflösung unter 20 nm ätzen. Das manuelle Plasmaverfahren für das Ätzmodul kommt mit Smart Ion Source Controlling (SmartISC) Technologie, die es dem Benutzer ermöglicht, die Ionenstrahlcharakteristik entsprechend dem Ätzprofil anzupassen. Das Aschemodul von 594 bietet eine Selektivität von bis zu 20:1 zwischen Silizium und Photoresist. Es verwendet eine vertikale lineare induktive Hochfrequenzquelle mit niedriger Leistung und Niederdruckplasma, um den Boden von tiefen Gräben und Gräben mit engen Seitenverhältnissen schnell zu reinigen. Die vertikale Quelle sorgt auch für die Seitenwandpassivierung der geätzten Muster in Kontaktgruben und Gräben. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH 594 dank seiner fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit. Der automatisierte thermisch unterstützte Duschkopf mit variablem Einfallswinkel soll die Prozessreproduzierbarkeit zwischen den Chargen gewährleisten und kann auch zur Ätzprofilierung von Kontaktgruben verwendet werden. Als Ergebnis, 594 ist ein hervorragendes Werkzeug für tiefe Substrate und High-Aspect-Ratio-Ätzen, und es ist eine beliebte Wahl unter Chip-Designern und Halbleiterherstellern geworden. Mit seiner innovativen Maschine ist LAM RESEARCH 594 in der Lage, leistungsstarke, kostengünstige Ätzvorgänge zu realisieren.