Gebraucht LAM RESEARCH 690 #9151419 zu verkaufen

LAM RESEARCH 690 ist ein kundenspezifisches Mehrkammer-System mit vielfältigen Konfigurationsoptionen, das erweiterte Funktionen für Ätz- und Veraschungsanforderungen bietet. Es ist darauf ausgelegt, Substrate in einem Mehrstationsverfahren präzise und sauber zu ätzen/aschen. 690 besteht aus einer Lastschloßkammer, einer Hauptätzkammer und einer höhenverstellbaren Produktkammer. Die Lastschloßkammer von LAM RESEARCH 690 besteht aus einer zweitürigen Konfiguration mit zwei unabhängigen Kammern, die Flexibilität für das Be- und Entladen empfindlicher Substrate bietet. Die Lastschloßkammer ist nach anspruchsvollen Spezifikationen gebaut, um Ausläufer zu minimieren und die Genauigkeit des gesamten Systemprozesses zu verbessern. Die Hauptätzkammer 690 ist mit einstellbaren Parametern wie Druck, Temperatur und Gaszufuhr ausgelegt. Diese Kammer bietet die optimale Umgebung für Transistorätz- und fortgeschrittene Materialabscheidungsprozesse. LAM RESEARCH 690 verfügt über eine Dual-Gas-Lieferquelle, die eine genaue Steuerung von zwei Gasen gleichzeitig ermöglicht, um einen gleichmäßigen Prozess über mehrere Substrate zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt 690 über ein patentiertes Wafer-Kegelsteuerungssystem, das präzise und reibungslose Einstellungen von Ätzparametern bei Prozessänderungen ermöglicht. Die Produktkammer von LAM RESEARCH 690 mit einstellbarer Höhe sorgt dafür, dass sich die Nachätz-/Ascheoperationen nach Bedarf für verschiedene Substrate nach oben und unten bewegen können. Diese Kammer enthält auch eine automatisierte Heißstufenplatte, d.h. das Targetsubstrat bleibt in der gleichen Position innerhalb der Kammer, wie es von der Hauptätzkammer übertragen wird. Die automatisierte Platte enthält auch Vakuumoptionen, die eine effiziente, dichte Abdichtung auf dem Substrat bieten. Insgesamt ist 690 ein leistungsstarker Ätzer/Ascher mit präzisen Spezifikationen und einstellbaren Parametern. Die Lastverriegelungskammer, die Hauptätzkammer und die Produktkammer mit einstellbarer Höhe bieten die ultimative Plattform für mehrere Substrate und liefern konstant und pünktlich qualitativ hochwertige Ergebnisse. Ein ideales Werkzeug für diejenigen, die erweiterte Kontrolle und Flexibilität für ihre Ätz- und Aschebedürfnisse suchen.