Gebraucht LAM RESEARCH 690 #9238723 zu verkaufen

Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
690
ID: 9238723
Wafergröße: 4"
Weinlese: 2012
Dry etcher, 4" 2012 vintage.
LAM RESEARCH 690 ist ein Ätzer/Ascher, der für das Durchwafer-Plasmaätzen entwickelt wurde. Es wird häufig in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet und ist aufgrund seiner Fähigkeit, ausgezeichnete Präzision und Durchsatz für fortgeschrittene Prozessschritte zu erreichen, sehr gefragt. 690 verfügt über einen mehrachsigen Roboterarm mit einem Ätzkopf, der eine voll programmierbare Höhe und Neigungsbewegung aufweist. Dadurch kann sich der Kopf durch einen komplexen Satz von Koordinaten bewegen, was zu einer verbesserten Genauigkeit und Gleichmäßigkeit des Ätzens führt. Der Kopf hat einen weiten Blickwinkel von 0-90 Grad und ist sowohl für planare als auch für geneigte Folien ausgelegt. Die Ätzkammer ist für eine optimale Plasmadichte ausgelegt. Es umfasst mehrere Merkmale wie einen intern fokussierten Brausekopf, der für die Erzeugung eines hochdichten Plasmastroms verantwortlich ist, und ein elektronisch einstellbares Gaseinspritzsystem, das eine genaue Steuerung des Ätzvorgangs ermöglicht. LAM RESEARCH 690 verfügt zudem über eine fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware, die eine präzise Steuerung des Ätzprozesses ermöglicht. Dazu gehören Funktionen wie die Optimierung von Prozessparametern, die automatische Prüfung von Gaslieferungen, die Echtzeit-Überwachung von geätzten Schichten und die automatische Alarmierung von Prozessanomalien. Dadurch wird sichergestellt, dass der Prozess reibungslos und effizient abläuft. Darüber hinaus bietet 690 auch eine breite Palette von Zubehör und Funktionen, wie Interface-Boards, Controller und Sonden. Dies ermöglicht die Anpassung des Systems an bestimmte Anwendungen. Das System ist auch sehr energieeffizient, mit niedrigen Gesamtbetriebskosten. Insgesamt ist LAM RESEARCH 690 aufgrund seiner Vielzahl an Funktionen, hoher Genauigkeit, niedrigen Betriebskosten und ausgezeichneten Ätzfähigkeiten zu einem Branchenführer geworden. Es ist eine ideale Wahl für fortgeschrittene Prozessschritte in der Halbleiterindustrie.
Es liegen noch keine Bewertungen vor