Gebraucht LAM RESEARCH 715-440264-003 #293661555 zu verkaufen

LAM RESEARCH 715-440264-003 ist ein Ätzer/Ascher, eine Art Halbleiterbauelement, das zum Ätzen oder Aschen von Dielektrika, Metallen und anderen Materialien auf einem Substrat verwendet wird. Es ist ein offener Rohrätzer/Ascher, der für chemische Prozesse entwickelt wurde, die einen Multimode-Betrieb erfordern, wie Trockenätzen, Widerstandsaschen, Nassstrippen und Plasmaätzen. Dieser Ascher/Ätzer verfügt über eine Plasmaquelle bestehend aus einer proprietären HF-Quelle und einer LAM-patentierten einstellbaren Durchflussmustereinstellungstechnologie. Diese Technologie ermöglicht eine exakte Anpassung und präzise Steuerung des Ätzprozesses und bietet eine Vielzahl von Prozesssteuerungsmöglichkeiten. Diese Flexibilität ist wesentlich, um die gewünschten Ätzergebnisse zu erzielen. Die Vakuumausrüstung von 715-440264-003 wurde entwickelt, um eine außergewöhnliche Ätzratenkontrolle mit einer Vielzahl von Prozessgasverunreinigungen zu ermöglichen. Das Vakuumsystem hilft, Partikel zu minimieren und Nebenprodukte zu ätzen, was eine präzise Steuerung und Reinigung von Substraten ermöglicht. Darüber hinaus bietet das Clean-Branded-Modell die Möglichkeit, höhere Plasmaquellentemperaturen zu verwenden, um die besten Ätzergebnisse zu erzielen. LAM RESEARCH 715-440264-003 bietet auch eine fortschrittliche thermische Einheit zur präzisen Temperaturregelung. Sein maßgeschneiderter integrierter Hochtemperaturofen sorgt für eine gleichmäßige Temperatur über das gesamte Substrat zur präzisen Steuerung. Sein einzigartiger Substrathalter mit variabler Temperatur (VTOSH) bietet die Möglichkeit, die Temperatur jedes Teils des Substrats genau zu ändern und bietet eine größere Flexibilität und feinere Temperaturregelung für spezialisierte Prozesse. 715-440264-003 verfügt über mehrere Optionen für austauschbare Gasausrüstungen, einschließlich HF-Multipol-Gasinjektoren für die kontrollierte Gaseinleitung und -lieferung und Inertgassensor zur Überwachung der Umgebung der Kammer. Die optionale Multiport-Abgasmaschine ermöglicht eine kontrollierte Abgasabgabe von Prozessgasen und Nebenprodukten und sorgt für eine optimale Kontaminationskontrolle. Dieser Ascher/Ätzer kann auch mit einer Anweisungsprozessanzeige zur automatisierten Einrichtung und Korrektur ausgestattet werden, so dass der Bediener den Ätzprozess auf verbesserte Genauigkeit überwachen kann. Die fortschrittliche Bedienoberfläche und die umfassende Dokumentation machen es zu einem geeigneten Ätzer/Ascher für Basis- und Fortgeschrittene. LAM RESEARCH 715-440264-003 ist ein fortschrittlicher Ascher/Ätzer mit einer Vielzahl von Funktionen, die präzise Ätzergebnisse liefern. Sein Substrathalter mit variabler Temperatur, Mehrport-Abgaswerkzeug und Prozessanzeige ermöglicht eine verbesserte Prozesssteuerung und -anpassung für spezialisierte Prozesse. Seine fortschrittliche thermische Anlage und HF-Quelle ermöglichen eine präzise Temperaturregelung und eine höhere Plasmaquellentemperatur. Mit seinen verschiedenen austauschbaren Gasgeräten ist 715-440264-003 ein geeigneter Ascher/Ätzer für Basis- und Fortgeschrittene.