Gebraucht LAM RESEARCH 790 #9088929 zu verkaufen

LAM RESEARCH 790 ist eine Ätz-/Aschermaschine für die Bearbeitung von Wafern aller Art. Es eignet sich zur Erzeugung hochwertiger, präziser und wiederholbarer Ergebnisse auf allen Arten von Halbleiterscheiben und dielektrischen Filmen. 790 ist mit modernsten Technologien ausgestattet, einschließlich mehrerer Hochfrequenz- (RF) -Leistungsquellen zum präzisen Ätzen sowie mehrerer Vakuumkammern, wodurch jeder Wafer mit konsistenter Genauigkeit bei hohem Durchsatz verarbeitet werden kann. Das System besteht aus einer Umweltkammer, die Bearbeitungskammer, Vakuum und Be-/Entladestationen enthält. Es kommt auch mit einer Vielzahl von optionalen Werkzeugen und einem integrierten Controller, um das Gerät auf spezifische Anwendungen anzupassen, einschließlich Low-K-dielektrische Verarbeitung, Nitridation, chemische/mechanische Planarisierung, Oxidstripping und selektives Ätzen. Die HF-Stromquelle bietet die notwendige Ätzleistung für eine Vielzahl von Anwendungen wie Oxid- und Polysiliziumätzen, Nitridierung, Entfernung von Photoresist und anderen Verunreinigungen und Schädigung von Diffusionsbereichen. Die Stromquelle ist so konzipiert, dass sie hohe Präzision und Stabilität bietet und eine präzise Kontrolle über Ätztiefe und Ätzrate von Prozessen ermöglicht. Dies wird ferner durch die Fähigkeit der Maschine unterstützt, den Wafer durch Drehen während der Bearbeitung zu orientieren. Das Vakuumwerkzeug verwendet fortschrittliche Technologie, um Hochvolumenstrom bereitzustellen, Niederdruckgas, das tiefes Vakuum erreicht. Dies gewährleistet eine kostengünstige, gleichmäßige Plasmaätzung mit wiederholbaren Prozessergebnissen. Die Ladeschloss-Portale und Lade-/Entlader-Module sorgen für einen schnellen Wafer-Transport bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung einer sauberen Umgebung und ermöglichen eine optimale Produktivität. LAM RESEARCH 790 Asset ist extrem effizient und verfügt über eine Dual-Bus-Architektur mit linearen Hochleistungsversorgungen für maximale Leistung. Es kommt auch mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und ist konform mit Industriestandards, so dass es einfach zu bedienen und zu warten. Sehr zuverlässig und effizient, 790 Ätzer/Ascher ist eine zuverlässige und sehr kostengünstige Lösung für präzises und wiederholbares Ätzen und Aschen auf allen Arten von Halbleiterscheiben und dielektrischen Filmen. Seine fortschrittliche HF-Stromquelle und sein Vakuummodell mit hoher Durchflussrate können zuverlässige, wiederholbare Prozessergebnisse mit minimalem Eingriff des Bedieners liefern und so Prozessintegrität und optimalen Durchsatz gewährleisten.