Gebraucht LAM RESEARCH 832-038915-101 #9363371 zu verkaufen

LAM RESEARCH 832-038915-101 ist ein Nassbankätzer/Ascher-Gerät, das für den Einsatz in großflächigen Wafer-Herstellungsprozessen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, Wafer aus Substratmaterialien wie Silizium, Galliumnitrid und Molybdän zu ätzen/zu waschen. Das System kann gleichmäßige Muster über die gesamte Waferoberfläche ätzen/aschen und eine Kurvengenauigkeit von 0,6 um oder besser für eine Musterteilung von 25 um und größer erreichen. Die Einheit besteht aus mehreren Schlüsselkomponenten, darunter einem HF-Leistungsgenerator, HF-Leistungsaufbereitungskomponenten, einer Hochgeschwindigkeits-HF-Sputterkammer, mehreren Fluidanschlüssen und einem hochauflösenden Präzisionsgasverteiler. Der HF-Stromgenerator dient zur Stromversorgung des Sputterprozesses und kann mit Spannungen von bis zu 4 kV und Frequenzen von bis zu 1 MHz betrieben werden. Die HF-Konditionierungskomponenten sorgen dafür, dass die der Kammer zugeführte Leistung während des gesamten Ätz-/Aschevorgangs stabil ist. Die HF-Sputterkammer ermöglicht Hochgeschwindigkeitsätzen/-aschen und ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 12 "zu handhaben. Innerhalb der Kammer sorgt ein hochauflösender Gasverteiler während des gesamten Ätz-/Ascheprozesses für einen gleichmäßigen Aschestrom. Darüber hinaus erhöht der Gasverteiler die Flexibilität der Maschine, so dass Benutzer den Fluss und die Zusammensetzung des Ätz-/Aschegases je nach Bedarf anpassen können. Die fluidischen Anschlüsse ermöglichen die Kommunikation zwischen dem Ätz-/Aschewerkzeug und allen extern gesteuerten flüssigen oder trockenen Ätz-/Aschesystemen. Die Häfen ermöglichen auch die Einführung reaktiver Gase wie O2, NH3 oder Cl2 und ermöglichen die Wiederverwendung von Ätz-/Aschechemikalien. Schließlich verwendet 832-038915-101 spezielle Materialien, die eine hervorragende Ätz-/Aschequalität bieten und ein wartungsarmes Design mit minimalen Ausfallzeiten bieten. Darüber hinaus unterstützt das Asset die Prozessüberwachung auf einer zentralen Plattform, was eine einfachere Prozesskontrolle und einen verbesserten Durchsatz ermöglicht.