Gebraucht LAM RESEARCH 839-019080-611/A #293658874 zu verkaufen

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Electrostatic Chuck (ESC).
LAM RESEARCH 839-019080-611/A ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine präzise und konsistente Entfernung von Ätzmitteln und anderen Materialien von Oberflächen ermöglicht, um ultrapräzise Strukturierungsanforderungen an die Halbleiterverpackung und die hochdichte Verbindungsindustrie zu erreichen. Dieser hochentwickelte Ätzer/Ascher verfügt über eine hochmoderne Dual-Stacked-Etch- und Ascher-Kühlausrüstung, um einheitliche Verarbeitungstemperaturen zu gewährleisten, die zu hochgleichmäßigen Ausbruchmustern, überlegenen Erträgen, hohen Seitenverhältnissen und verbesserter Gleichmäßigkeit führen. Das Dual-Stack-Kühlsystem verwendet ein Reverse-Flow-Design, um eine optimale Leistung und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Das Gerät enthält auch eine fortschrittliche Degas-and-Etch-Technologie, um den Prozess des Aschens von Material unter Beibehaltung einer niedrigen Partikelzahl zu vereinfachen. LAM RESEARCH 839-019080-611/A verfügt über Hochgeschwindigkeits-, adaptive Präzisions-Ätz- und Aschebearbeitungsfunktionen mit einer integrierten Gasverteilungs- und Abgasmaschine, die für eine schnelle Prozesszykluszeit, minimale Ätzunterbietung und einheitliche Ätz-/Ascheraten sorgt. Mit einer breiten Palette von Ätzchemie unterstützt, bietet es überlegene Prozesse für kleinere Funktionen und hohe Seitenverhältnisse Features, die Prozesse erfordern, die innerhalb von 5 Nanometern von Feature-Kanten laufen. LAM RESEARCH 839-019080-611/A enthält auch einen funktionssteigernden Annealzyklus innerhalb des Ätzprozesses, um das Dochten und Unterschneiden von Merkmalen zu verringern. Ein fortschrittlicher Netzwerkcontroller ermöglicht eine dynamische Steuerung des Ätzprozesses für eine enge Kontrolle der Laufzahl, Ätzrate, Ascherate, Temperatur und Analysetechniken zur Überwachung der Flugbedingungen. Die Serie 839 enthält auch dynamische Sicherheitsprotokolle, um einen weiterhin sicheren Betrieb zu gewährleisten. Es verfügt über ein modernes reaktives Ionenätzwerkzeug (RIE), das eine enge Kontrolle über Plasmadichten, Leistung und Substrattemperatur zum präzisen Ätzen von technischen Materialien bietet. Es verfügt außerdem über einen automatisierten Druck-Vakuum-Kreislauf, der die Reaktionskammer auf „neuem“ Sauberkeitsniveau hält. Die offene Architektur ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Fertigungslinien, und das Asset ist für zukünftige Erweiterungen und Integration leicht aufrüstbar. Die Benutzeroberfläche bietet eine einfache Navigation und vollständige Kontrolle über den Ätz- und Ascheprozess. LAM RESEARCH 839-019080-611/A bietet die Geschwindigkeit und Präzision, die für Ätz-/Ascheanforderungen in den anspruchsvollsten Prozessen benötigt wird.
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