Gebraucht LAM RESEARCH 852-011061-103 #293661544 zu verkaufen

LAM RESEARCH 852-011061-103 ist eine Ätz-/Aschermaschine für Produktionsprozesse. Das System ist in der Lage, eine breite Palette von Chemikalien für eine Reihe von Anwendungen zu handhaben, einschließlich Oxidätzen, Photoresist-Strippen und Plasmareinigung. 852-011061-103 verfügt über einen eigenen Ladearm und arbeitet mit einer einzigen Prozesskammer, die eine effiziente und gleichzeitige Bearbeitung mehrerer Wafer ermöglicht. Das Gerät ist so konzipiert, dass es eine enge Prozesssteuerung bietet und in der Lage ist, präzise Ätzprofile mit hoher Wiederholbarkeit zu erzielen. Um präzise Prozessergebnisse zu gewährleisten, verfügt die Maschine über eine Reihe von hochpräzisen Bewegungssteuerungssystemen, einschließlich eines mechanischen Sichtwerkzeugs zur Registrierung und eines Positioniergerätes für Fly-by-Eye-Komponenten. Das Modell ist mit einer automatischen Be-/Entladestation ausgestattet und wird standardmäßig mit einem Inline-Lader geliefert, der einen kontinuierlichen Betrieb ohne manuelle Handhabung von Komponenten ermöglicht. Das Gerät ist außerdem mit einem Temperaturregelsystem ausgestattet, um die optimale Temperatur am Prozesskammerdeckel zu halten und die Stabilität während des Betriebs zu erhalten. Darüber hinaus verfügt es über eine Partikelüberwachungseinheit zum Nachweis eventuell vorhandener Partikel oder Verunreinigungen. LAM RESEARCH 852-011061-103 ist mit einer geschlossenen Ätzkammer gebaut und verfügt über ein Niedertemperatur-Niederleistungsvakuum. Dieses Vakuum ist in der Lage, einen Tiefenätzprozess und einen hochkonformen Ätzprozess durchzuführen, der ein Plasmaätzen mit hoher Selektivität und präzisen Merkmalen ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über eine breite Palette von Auto-Schaltgasanlagen, mit denen automatisch zwischen mehreren Gasquellen für verschiedene Schritte im Produktionsprozess umgeschaltet werden kann. Darüber hinaus verfügt 852-011061-103 über Drucksteuerungssysteme und einen Drucksteuerungsmonitor, um die Stabilität des Plasmas während der Verarbeitung zu überprüfen und eine sichere und zuverlässige Ätzung zu gewährleisten. Dieses Tool wurde auch mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche entwickelt, mit der Benutzer Parameter festlegen, Rezepte definieren und die Leistung des Assets aus sicherer Entfernung überwachen können. LAM RESEARCH 852-011061-103 ist ein zuverlässiges und effizientes Ätzmodell, das entwickelt wurde, um branchenübliche Ergebnisse zu liefern. Mit seinem robusten Design, der präzisen Steuerung und dem breiten Spektrum an Funktionen ist diese Ausrüstung die perfekte Wahl für jeden Produktionsprozess, der eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit erfordert.