Gebraucht LAM RESEARCH 852-030038-601 #293661559 zu verkaufen

ID: 293661559
Lower reaction chamber.
LAM RESEARCH 852-030038-601 etcher/asher ist ein Werkzeug, das in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Bauteilen eingesetzt wird. Es ist eine Art Plasmabearbeitungswerkzeug und ist eine Kombination aus einem Ätzer und einer Asche. Diese Maschine dient zum Entfernen von unerwünschtem Material von der Oberfläche von Halbleiterscheiben. Dies geschieht, indem eine Kombination aus ionisierten Gasen und Passivierungsgas verwendet wird, um unerwünschte Schichten wegzuätzen, während eine Asche verwendet wird, um die Oberfläche durch Beseitigung von Rückständen zu reinigen. 852-030038-601 Ätzer/Ascher kann mit hoher Präzision und hoher Reproduzierbarkeit arbeiten. Dadurch können qualitativ hochwertige Halbleiterbauelemente mit präzisen Konstruktionstoleranzen hergestellt werden. Die Maschine ist auch in der Lage, vielseitige Prozessrezepte und leicht einstellbare Plattformmerkmale wie Variation der Leistungsabgabe, Reduzierung der Ätzprozessgeschwindigkeit usw. zu haben. Dadurch eignet es sich für eine Vielzahl von Ätzprozessen und für eine optimale Prozessrezeptoptimierung. Dieser Ätzer/Ascher verfügt auch über fortschrittliche Prozessoren und automatisierte Funktionen, die zuverlässige und konsistente Ergebnisse liefern. Es verfügt über eine Mehrkammerkonstruktion mit einem speziellen Gasverteilungssystem, das für die Kontrolle der Gaskonzentrationen und die Gewährleistung einer gleichmäßigen Materialabfuhr wesentlich ist. Darüber hinaus umfasst LAM RESEARCH 852-030038-601 ein mehrstrahliges Parallelätzsystem, das eine präzise Form- und Profilsteuerung von geätzten Merkmalen ermöglicht. 852-030038-601 Ätzer/Ascher verfügt über Sicherheitsmerkmale wie eine Kammerspülung und Drucksensoren. Diese arbeiten, um einen ordnungsgemäßen Betriebsdruck während des Ätzprozesses zu gewährleisten und eine Überdruckbeaufschlagung der Kammer zu verhindern. Dies gewährleistet die Sicherheit des Personals und den Schutz der Vorrichtung. Die Maschine hat auch eine aktive Temperaturregelung, um eine stabile Prozesstemperatur über die Waferoberfläche aufrechtzuerhalten. Dieser Ätzer/Ascher ist in der Lage, effiziente und schnelle Ätzprozesse bereitzustellen. Es ist auch in der Lage, Zykluszeit und Abfall mit seinen fortschrittlichen Komponenten und automatisierten Funktionen zu reduzieren. Der kombinierte Ätz- und Ascherprozess kann sowohl die Gesamtkosten als auch die Zykluszeit reduzieren. LAM RESEARCH 852-030038-601 etcher/asher ist ein zuverlässiges Werkzeug für die Halbleiterindustrie und ideal für die Herstellung hochwertiger, kostengünstiger Bauelemente.
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