Gebraucht LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D #9143212 zu verkaufen

LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung für die Waferbearbeitung und Geräteherstellung. Es verwendet eine Kombination aus Chemie, Laser und thermischen Technologien, um Wafer zu ätzen oder zu mustern, einschließlich kundenspezifischer Schichten, Mehrfachschichten und dicken Filmen. 853-012123-001-G-230D System ist in der Lage, 100-500mm Wafer zu strukturieren. Es verfügt über eine hochpräzise optische Einheit zur genauen Ausrichtung von Wafern und Photolackschichten. Die Architektur ist so konzipiert, dass sie kostengünstige und zuverlässige Ätz- und Glühprozesse ermöglicht und gleichzeitig die Prozessanforderungen zahlreicher Anwendungen erfüllt. Die primäre Ätz- und Glühfunktion von LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D ist eine fortschrittliche Laserabschirmungstechnologie. Diese Maschine ist so konstruiert, dass sie einen Laser- und Wärmeschutz vor den energiereichen Strahlen ermöglicht, die zum Ätzen und Glühen verwendet werden, während sie dennoch die notwendige Wafer-Strukturierung bereitstellt. Um eine genaue Strukturierung jeder Schicht zu gewährleisten, verfügt das Werkzeug über eine präzise optische Komponente, die eine Kugelverfolgung und -ausrichtung ermöglicht. Darüber hinaus wurde das Modell zur Verbesserung der Prozessgleichförmigkeit entwickelt und bietet sowohl elektrostatische als auch magnetische Felder zur besseren Kontrolle von Wafermustern und Materialien. Für den Ätzprozess selbst nutzt 853-012123-001-G-230D zwei getrennte Technologien. Die erste ist ein Nassätzprozess, bei dem Chemikalien verwendet werden, um die Waferoberfläche zu mustern. Das zweite ist ein Trockenätzprozess, bei dem ein gasförmiges Plasma zum Ätzen der Oberfläche verwendet wird. Dies ermöglicht eine höhere Mustergenauigkeit und Geschwindigkeit im Vergleich zu herkömmlichen Ätzmethoden. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Temperaturregelung, um den Ätzprozess zu verbessern. Um das Risiko einer Verunreinigung durch Partikel zu reduzieren, verfügt LAM RESEARCH 853-012123-001-G-230D über eine spezielle Filtrationseinheit. Diese Maschine reduziert die Menge an Partikeln und Staub in der Luft, die in das Werkzeug gelangen können. Darüber hinaus verfügt die Ätzanlage über integrierte Überwachungssysteme, die es den Betreibern ermöglichen, den Ätzprozess besser zu überwachen und Qualität und Genauigkeit sicherzustellen. Schließlich verfügt das Modell über eine leistungsstarke Kühleinrichtung, um seine Komponenten vor den hohen Temperaturen während der Verarbeitung zu schützen. Insgesamt ist 853-012123-001-G-230D System so konzipiert, dass es Oberflächenätzen und Glühen von Wafern mit hoher Genauigkeit ermöglicht. Es verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Technologien, leistungsstarke Filter- und Kühlsysteme und spezielle Überwachungsfunktionen, um maximale Prozessgenauigkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten.