Gebraucht LAM RESEARCH 9400 DFM #293764229 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 DFM ist eine Naßprozess-Ätz-/Aschemaschine für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über eine vollständige Palette fortschrittlicher Technologien, die eine erhöhte Prozessleistung, niedrige Gesamtbetriebskosten, geringe Kontamination und verbesserte Sicherheit bieten. 9400 DFM-System besteht aus einem modularen Aufbau und ist anpassbar, um eine breite Palette von Technologien und Prozessanwendungen zu bieten. Das Gerät umfasst vollintegrierte Abbildungs-, Temperatur-, Überwachungs- und Massenstromregler (MFCs). Zusammen ermöglichen diese Komponenten eine gleichbleibende Abscheiderate, die ein qualitativ hochwertiges, wiederholbares Ätzen/Aschen gewährleistet. Das Multizonendesign von LAM RESEARCH 9400 DFM ermöglicht eine optimale thermische Steuerung in jeder Phase des Prozesses. DFM verfügt zudem über eine einzigartige Funktion, die die gleichzeitige Entwicklung mehrerer Kammern und schnelle Zykluszeiten ermöglicht. 9400 DFM-Maschine verfügt über ein Dual-Dampf-Lieferwerkzeug, das eine höhere Ätzselektivität, verbesserte Gleichmäßigkeit und verbesserte Prozessleistung ermöglicht. Die Anlage umfasst auch eine spezielle Waferheizung, die eine verbesserte Temperaturregelung über die Waferoberfläche ermöglicht, was für die Herstellung hochwertiger, fortschrittlicher Prozessgeräte von entscheidender Bedeutung ist. Das Modell enthält auch einen Fensterscheibenester-Port für optionale Ätzchemie-Lieferung und eine optionale Wasserstoffanode für verbessertes isotropes Ätzen. Die Plattform von LAM RESEARCH 9400 DFM umfasst 3800 Controller-Geräte und eine Reihe von Modulen zur Prozessautomatisierung, die reproduzierbare Prozesse und rückverfolgbare Daten gewährleisten. Die Prozessrezepte können in einer Datenbank gespeichert, ferngesteuert und direkt vom OPC-Dienst des Systems aus gesteuert werden. 9400 DFM wurde mit In-situ-Reinigungs- und Überdruckschutztechnologie entwickelt, um das Potenzial für plasmainduzierte Partikelverunreinigungen zu reduzieren und die Prozessleistung weiter zu verbessern. Abschließend ist LAM RESEARCH 9400 DFM auf hohe Leistung ausgelegt und eine ideale Lösung für die Herstellung fortschrittlicher Geräte- und Mikroelektronik-Prozesse. Es bietet Benutzern flexible Konfiguration, optimierte Temperaturregelung, integrierte Bildgebung, benutzerfreundliche Parameter, schnelle Zykluszeiten, fortschrittliche Prozessautomatisierung und Verunreinigungsschutz.