Gebraucht LAM RESEARCH 9400 DFM #9181359 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 DFM ist ein fortschrittlicher Plasma Etcher/Asher, der in einer Reihe von Anwendungen eine unübertroffene Leistung bietet. Es verwendet einen hochpräzisen zeit- und raumgesteuerten Ionenätzprozess, um überlegene Ergebnisse in einer Vielzahl von Ätzaufgaben zu erzielen, und ist in der Lage, Funktionen unter 2,5 Nanometer zu ätzen. 9400 DFM kann zum präzisen Ätzen von Wafern, Filtern, Folien und anderen feinen Merkmalen mit hoher Genauigkeit und Genauigkeit verwendet werden. LAM RESEARCH 9400 DFM ist mit zwei Exacting Ion Source (EIS) -Kammern ausgestattet, die sowohl Vakuum- als auch Atmosphärenverarbeitung ermöglichen. Es verwendet auch eine Dual-Mode CF (Carbon Fiber) -Technologie, die eine überlegene CVD (Chemical Vapor Deposition) und Ätzleistung ermöglicht. Möglich wird dies durch die Kombination von höheren Plasmadichten und einzigartigen atomaren Beiträgen der Carbon Fiber. Das Gerät ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen und kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden. Dazu gehören dielektrisches Ätzen, Hardmaskenätzen, Kontaktätzen, über Ätzen und Damaszenen-Ätzen. Die Ätzergebnisse sind stark wiederholbar und bieten eine überlegene Kanten- und Oxidrauhigkeit für die Abschrägung und Photoresistätzung. Das System verfügt auch über eine Reihe von fortschrittlichen Steuerungstechnologien, um die höchste Reproduzierbarkeit der Kammer zu gewährleisten. Es verwendet eine fortschrittliche HF-Vorspannungs-Steuereinheit, die der Maschine eine überlegene Kontrolle über Ionenenergie und Sputtern gibt. Es enthält auch ein fortschrittliches automatisiertes Tool namens Chamber Management Asset, das den Betrieb von 9400 DFM automatisiert, Bedienungsfehler reduziert und die Verfügbarkeit und Produktivität erhöht. LAM RESEARCH 9400 DFM ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher zur Herstellung hochpräziser Merkmale und kann in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden. Das Modell verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Steuerungstechnologien, um wiederholbare Ätzergebnisse sicherzustellen, und seine Dual-Mode CF-Technologie bietet überlegene CVD und Ätzleistung. Es hat sich zu einem Branchenführer in der Ätzleistung entwickelt und ist der Ätzer der Wahl für viele Unternehmen der Halbleiterindustrie.