Gebraucht LAM RESEARCH 9400 DFM #9207998 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 DFM ist ein Ätzer/Ascher, der speziell auf die anspruchsvollen Anforderungen moderner Wafer-Fertigungsanforderungen ausgerichtet ist. Diese Ausrüstung ist in der Lage, eine breite Palette von traditionellen Trocken- und Nassätzverfahren sowie neue Ätz-/Kristallwachstum und chemisch-mechanische Polierverfahren. Das System verfügt über eine fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware und ein hochmodernes Optikpaket, das eine hervorragende Produktivität und Qualitätsleistung für die High-End-Waferbearbeitung bietet. Die Einheit ist in der Lage, Funktionen bis hin zu Submikrongrößen und komplexen Strukturen in ebenen und 3D-Wafer-Dimensionen zu ätzen und zu verwerten. Duale Bereitstellungssysteme ermöglichen einen verbesserten Durchsatz und eine höhere Benutzerflexibilität. Die Maschine bietet auch thermische Management-Fähigkeiten, mit seiner fortschrittlichen Temperaturkontrolle und Wärmeabfuhr Technologien. 9400 DFM kommt mit einer Vielzahl von Modulen, wie dem Hochdruckwandlermodul, das speziell für die Verbesserung der Dünnschichtabscheidung entwickelt wurde. Es verfügt auch über ein Hochtemperaturabscheidungsmodul, das eine präzise Kontrolle über die schnelle thermische Verarbeitung bietet. Ascher wie der Dreikammer-Metallascher verfügen über eine automatisierte Be-/Entlademöglichkeit für einen vollautomatischen Betrieb. LAM RESEARCH 9400 DFM verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Prozessüberwachungsfunktionen wie Reflektometerüberwachung (RPM) und Laserinterferometrie. Dieses fortschrittliche digitale Tool überwacht kontinuierlich die Ätztiefe und -temperatur, um eine optimale Prozesskontrolle zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst es spezielle Steuerungssysteme zur Überwachung von Produktionsdaten oder zur Auslösung von Alarmen auf mögliche Prozessfehler. Das Asset verfügt außerdem über ein Schichtmesstechnikmodell, das eine detaillierte Fehleranalyse der erweiterten Gatestrukturen und der Schichtdicke der Photoresistschicht ermöglicht. 9400 DFM bietet auch fortschrittliche Tracking-Technologie, die eine Partikeldetektionsanlage umfasst, um Partikel- und Schadstoffwerte zu überwachen und zu filtern. Dies führt zu verbesserter Ausbeute und Prozessergebnissen. Das System ist für eine optimale Messtechnik konzipiert, wobei das integrierte Bedienfeld eine manuelle Bedienung für mehr Flexibilität ermöglicht. LAM RESEARCH 9400 DFM ist ein vielseitiger Ätzer/Ascher, der eine Vielzahl fortschrittlicher Ätzanforderungen für hochpräzise Fertigungsprozesse bewältigen kann. Diese Einheit verfügt über erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen und automatisierte Module, die eine hervorragende Produktivität und Qualitätsleistung in der Halbleiterverarbeitung bieten. Darüber hinaus gewährleisten seine erweiterten Überwachungsfunktionen eine überlegene Prozesskontrolle und erzielen Ergebnisse.