Gebraucht LAM RESEARCH 9400 PTX #293767943 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 PTX
ID: 293767943
Etcher.
LAM RESEARCH 9400 PTX ist ein Ätzer/Ascher, der lösungsbasierte Anwendungen zum Tiefenätzen und Aschen von Plasmen anbietet. Es wurde entwickelt, um die Präzisionsstrukturen des höchsten Seitenverhältnisses und das tiefste kritische Ätzen mit einer überlegenen Prozesswiederholbarkeit zu verarbeiten. Dies erhöht den Durchsatz und die Ausbeuten des Herstellungsprozesses und garantiert die beste Qualität der Materialien. LAM RESEARCH 9400PTX bietet einen maximalen Durchsatz von über 500 Wafern pro Stunde und eignet sich somit gut für eine breite Palette von großvolumigen Fertigungsanwendungen. Diese Ausrüstung wurde entwickelt, um einzelne oder mehrere Ziele in einer einzigen Kammer zu verarbeiten, was eine erhöhte Flexibilität und Produktivität ermöglicht. Die fortschrittliche Plasmachemie von LAM RESEARCH 9400 PTX umfasst eine einzigartige Puls-Plasma-Technologie, die ein hohes Maß an Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit bietet und die Abfallmenge minimiert. Die fortschrittlichen Prozessrezept-Entwicklungsmethoden des Systems bieten eine Prozesskontrolle mit einer Genauigkeit von mehr als 0,5 μ m. 9400 PTX bietet zudem höchste Einheitlichkeit und Laufwiederholbarkeit in der Branche. Darüber hinaus verfügt 9400PTX über eine integrierte Kammerkonstruktion, die Prozessstabilität und Unterstützung für die Wafer-Temperaturregelung ermöglicht. Seine Präzisions-Wafer-Transporteinheit sorgt für eine präzise, wiederholbare Bewegung mit bis zu 4-Zoll-Losgröße. Der Werkzeug- und Rezeptzugang der Maschine wird durch den Bordcomputer ermöglicht, der den Ingenieuren Flexibilität bietet, so dass sie ihr Produkt genau und zuverlässig verarbeiten können. Die Wartungsmerkmale der Kammer, verbesserte Sicherheitsprotokolle und eine Prozesssteuerung mit geschlossenem Regelkreis sollen die Gesamtbetriebskosten senken und das Prozessgas möglichst effizient einsetzen. LAM RESEARCH 9400 PTX verfügt auch über eine intuitive Plattform, die einfach zu bedienen ist und dem Benutzer die vollständige Kontrolle über das Ätzwerkzeug bietet. Es wird auch mit Datenverwaltungssoftware zur Verfügung gestellt, die es Benutzern ermöglicht, Daten für die Analyse leicht zu exportieren und Daten für Trending und mehrere Rezepte zu speichern. Insgesamt bietet LAM RESEARCH 9400PTX etcher/asher eine unübertroffene Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit für das präzise Tiefätzen und Aschen komplexer Strukturen. Die fortschrittliche Plasmachemie und das integrierte Kammerdesign machen es zu einem idealen Kapital für eine breite Palette von Großserienherstellungen. 9400 PTX ist die überlegene Wahl für zuverlässige und genaue Ätz- und Ascheprozesse.
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