Gebraucht LAM RESEARCH 9400 SE #293799084 zu verkaufen

LAM RESEARCH 9400 SE ist ein leistungsstarker, kostengünstiger Ätzer/Ascher, der sich ideal für Halbleiterherstellungsanwendungen eignet. Mit seiner fortschrittlichen Plasma-Trockenätz- und Aschertechnologie bietet es höchste Ausbeute und maximalen Produktionsdurchsatz für fortschrittliche Produktentwicklung und Prozessoptimierung. Die fortschrittliche Technologie ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessvariablen, was zu einer überlegenen Produktleistung führt. Enthalten sind zwei separate Kammern, eine mit einer Zweifrequenz-Induktionsspule und eine mit einer Zweifrequenz-Hochfrequenzspule, zusammen mit automatischen Nachfülltechnologien. Die integrierte Ausrüstung hilft dem Anwender, die Gesamtkosten zu senken, indem sie präzise Ätzparameter anbietet und die Markteinführungszeit komplexer Produkte verkürzt. Der große, 15-Zoll-Touch-Panel-Bildschirm mit niedriger Temperatur bietet vollständige Kante-zu-Kante-Sichtbarkeit und vereinfacht die Datensätze. LAM RESEARCH 9400SE bietet eine große Kapazität von 15,6 Litern mit einer Auswahl von drei unterschiedlich großen Ätzkammern - 6, 7 und 8 Zoll. Dies ermöglicht hohe Ätzraten in Hochtemperaturätzumgebungen. Das integrierte, in-situ Endpunkt-Detektormodul sorgt für Prozessgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Das Ätzsystemdesign sorgt für außergewöhnlich schnelle Kühlraten und eine Auflösung der Sub-Micron-Funktionen. Das spart wertvolle Zeit und steigert die Produktivität. Es hat auch eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeitsleistung über alle Wafergrößen und Kammerkonfigurationen. Darüber hinaus umfasst die Einheit einen Wafer-Suszeptor-Autoloader und zwei Wafer-Transfermechanismen zur effizienten Handhabung mehrerer Wafer-Chargen. 9400 SE bietet enorme Prozessflexibilität und Genauigkeit für zahlreiche Ätzanwendungen. Diese Anwendungen umfassen das Ätzen von Deep DRC/sub-0.25µm View, über Routen, Schwellenwert-Logikschichten und dielektrische Schichten für fortgeschrittene Verpackungs- und Hochfrequenz-HF-Geräte. Es bietet auch erweiterte Funktionen wie verbesserte chemische Kontrolle, mehrstufiges Ätzen und erweiterte Prozessintegration und -steuerung, alles in einer Einheit. Die Maschinenkonstruktion hilft bei der Optimierung der Kammerabfuhr und reduziert die Ätzzeit gegenüber Standard-Ätzsystemen um bis zu 50%. 9400SE bietet korrosionsbeständige Edelstahl-Kammerwände, flexible Tragplattendesigns und präzise Ausrichtung von Quarzschilden und Suszeptoren. Dies gewährleistet eine optimierte Prozessumgebung mit minimalen Ausfallzeiten und Wartungskosten. Insgesamt optimiert die fortschrittliche Technologie von LAM RESEARCH 9400 SE etch/asher Design-Trade-offs, um die maximale Leistung und Zuverlässigkeit für kostensensible und schnelllebige Halbleiterherstellungsprozesse zu bieten. Das Gerät bietet hohe Produktivität, überlegene Zuverlässigkeit und niedrige Verbrauchskosten für maximale Kosteneinsparungen.